판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-0790-05 #9386156

BROOKS AUTOMATION 002-0790-05 웨이퍼 핸들러는 정밀 제어 처리 장비로, 웨이퍼 레벨 처리를 위해 높은 수준의 생산 효율성을 제공합니다. 이 자동화 장비는 고객에게 품질 (Quality) 제품을 생산할 수 있는 자동화된 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 구조로 설계되었으며 비 자기 구동 시스템 (non-magnetic drive system) 과 반복 가능성 5äm의 높은 정밀도를 갖추고 있습니다. 원활한 모션 제어를 위해 아노다이징 된 알루미늄 웨이 유닛으로 200mm 및 150mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 가로로 동기화된 Z 스테이지 및 XY 스테이지로, 처리 단계 동안 웨이퍼를 정확하게 배치하고 조작하도록 설계되었습니다. 이러한 단계의 동작 제어는 독립적인 동작 제어판 (motion control panel) 에 의해 제공되며, 이는 안정적인 정밀도 및 반복 가능한 동작을 제공합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 또한 정전기를 줄이기 위해 설계된 반 정적 발전기 (Anti-Static Generator) 와 그 과정에서 깨끗하고 건조한 질소를 유지하는 데 도움이되는 질소 퍼지 머신 (nitrogen purge machine) 을 갖추고 있습니다. 또한, 이 자동화 장비의 통합 설계는 다양한 안전 (safety) 기능으로 제작되었습니다. 여기에는 E-스톱 (E-stop) 도구, 인터 록 (interlock) 및 완전 밀폐 된 도어 시스템이 포함되며, 모두 작업자와 운영자가 잠재적으로 위험한 상황으로부터 보호하도록 설계되었습니다. 뿐 만 아니라, "웨이퍼 '손잡이 는 압력" 센서', 온도 "센서 ', 습도" 센서' 등 여러 가지 "센서 '로 지탱되어 그 과정 을 쉽게 모니터링 할 수 있다. 전체적으로 002-0790-05 웨이퍼 핸들러는 자동 웨이퍼 처리 및 처리에 적합한 솔루션입니다. 정밀 제어 자산은 생산 효율성이 높은 반면, 통합 안전 (Integrated Safety) 기능은 근로자와 사업자에게 충분한 보호 기능을 제공합니다.