판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #9256375

브룩스 자동화 002-0016-14 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 wafer handler) 는 이러한 기계가 필요한 프로세스 동안 효율적으로 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 정교한 기계입니다. 프로세스 안정성 (process relibility) 과 효율성 (efficiency) 에 중점을 두고 프로세스를 최적화하기 위해 설계되었습니다. 이 기계는 최대 270mm/s의 이동으로 최대 12 인치 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 기계에는 2 개의 독립 풍선이 장착되어 있어 웨이퍼의 위치와 움직임이 매우 정확합니다. 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 위치를 정확하게 추적 할 수있는 이중 동심원 웨이퍼 추적 장비도 있습니다. 기계 는 진공 또는 흡입 장치 를 갖추고 있어서 "웨이퍼 '를 집어 그 과정 의 다른" 스테이션' 이나 계단 으로 옮긴다. 이 장치 에는 매우 다양 한 "센서 '와" 센서' 가 장착 되어 있어서 그 과정 이 정확 하고 정확 하게 수행 되도록 한다. 여기에는 진공이 제대로 유지되고 있을 때 감지하는 진공 탐지기 (vacuum detector) 와 웨이퍼 (wafer) 의 존재 및 위치를 감지하는 센서 (sensor) 가 포함됩니다. 기계 에는 또한 "웨이퍼 '세정기 가 장착 되어 있어서" 웨이퍼' 에서 흙 과 파편 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 웨이퍼 포지셔닝 (Wafer Positioning) 의 정확성을 높이고 결함을 파악하고 찾는 통합 비전 (Integrated Vision) 도구와 비전 모델에서 감지하기에는 너무 작은 입자의 존재를 감지할 수 있는 디지털 이미징 (Digital Imaging) 자산 (옵션) 이 있습니다. 이 기계는 또한 경보 장비 (alarm equipment) 를 장착하여 운영자에게 프로세스의 불규칙성을 경고합니다. "센서 '나" 디텍터' 가 잠재적 인 문제 를 식별 하고 시각 혹은 "오디오 '경보" 디스플레이' 와 함께 연산자 를 경보 할 때 경보 "시스템 '이 자동 활성화 된다. 마지막으로, 컴퓨터에 직관적인 사용자 인터페이스가 있어 설치, 사용이 간편합니다. 성능 요구 사항 (Performance Required) 및 안전 요구 사항 (Safety Required) 을 준수하도록 테스트되었으며, 시스템 설정 및 작동을 용이하게 하기 위해 사용자 친화적인 문서 (User-Friendly Document) 가 지원됩니다.