판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #293695824
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브룩스 자동화 002-0016-14 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 wafer handler) 는 반도체 업계에서 사용되는 연약한 웨이퍼 기판을 운송하고 처리하도록 설계된 첨단 산업 장비입니다. 이 시스템은 메인 머신 프레임, 로봇 암 (robot arm), 브리징 메커니즘 (옵션) 및 다양한 인터페이스 모듈로 구성됩니다. 최대 웨이퍼 용량은 300mm, 전송 속도는 분당 최대 12 웨이퍼입니다. 주 기계 본체는 단단한 금속 부품으로 구성되며 다양한 전기 및 센서 부품을 포함합니다. 모든 구성 요소는 단일 큐비클 (cubicle) 스타일 유닛에 포함되어 있으므로 유지 관리 및 서비스가 용이합니다. LCD 터치 스크린 디스플레이가 있는 작동 제어판 (Operator Control Panel) 이 있어 프로그래밍, 모니터링 및 문제 해결이 용이합니다. 또한 부드럽고, 정확하며, 안정적인 작동을 보장하는 통합 모션 컨트롤 시스템도 포함되어 있습니다. 기계의 주요 부분은 로봇 팔입니다. 이 전동식 암 (Motorized Arm) 에는 최첨단 서보 기술로 설계된 매우 정밀한 웨이퍼 처리 메커니즘이 포함되어 있습니다. x-y-z 방향으로 최대 590mm 이동하고 작업 경로를 따라 위치에 웨이퍼 (wafer) 를 집어 넣을 수 있습니다. 그것 은 또한 극단적 인 정확성 과 반복성 으로 전체 "로봇 '암 을 작동 시키도록" 프로그램' 된 "모터 '식 구동 도구 로 구동 된다. 옵션 브리징 메커니즘은 많은 수의 웨이퍼를 처리하는 데 이상적입니다. 이 브리지는 메인 머신 프레임 (main machine frame) 에 쉽게 부착할 수 있으며, 로봇 암 (robot arm) 의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝 (wafer) 으로 웨이퍼를 지원하고 전송하도록 사용자 정의하여 구성할 수 있습니다. 운영자의 특정 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다. 002-0016-14 웨이퍼 핸들러에는 다양한 인터페이스 모듈 (예: 아날로그, 디지털 입력, 출력) 이 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 산업 시스템에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한 고급 안전 기능 (예: 비상 정지 스위치, 과부하 방지, 속도 모니터링) 을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION 002-0016-14는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 자산이 필요한 기업을 위한 완벽한 솔루션입니다. 엔지니어링 및 우수 부품 선택으로 인해 웨이퍼 기판 (wafer 기판) 을 처리 및 운송하는 데 적합합니다. 이 "웨이퍼 핸들러 '는 높은 성능, 정확성으로 높은 생산성, 만족도를 제공합니다.
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