판매용 중고 BROOKS AquaTran #158153

BROOKS AquaTran은 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 200mm x 200mm 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 아쿠아 트란 (AquaTran) 은 저전력, 저각 전달 메커니즘과 소형 인체 공학 디자인을 특징으로합니다. 이 장비 에는 먼지, 물, 기타 오염 물질 로부터 "웨이퍼 '를 보호 하도록 설계 된 완전 한 밀폐 작동 환경 이 있다. 또한 케이스는 열 관리 기능을 제공하며 소음 수준을 최소화합니다. 환경은 밀봉되고 가압되어 시스템이 1 토르 (Torr) 와 다른 비 진공 운영 환경 (non-vacuum operating environment) 에서 작동 할 수 있습니다. 브룩스 아쿠아트란 (BROOKS AquaTran) 은 진공 적재 장치 (vacuum loadlock unit) 를 장착해 웨이퍼 처리 시간을 최소화하고 환경 오염으로부터 웨이퍼를 보호한다. 또 정전기 전하 모니터 (electrostatic charge monitor) 를 장착하여 웨이퍼에 의해 방출되는 정전기 전하의 누출을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 빠르고 고효율 웨이퍼 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 고정밀도 포지셔닝 툴과 3축 서보 드라이브 에셋 (swo drive asset) 을 비롯하여 wafer 정렬과 배치를 정확하게 해주는 자동화된 포지셔닝 모델을 갖추고 있습니다. 또한, 깨끗하고 저압 공정 및 웨이퍼 로딩을위한 정교한 가스 흐름 장비를 갖추고 있습니다. AquaTran은 온도 조절 프로세스와 리소그래피 시스템 모두에 최적화되었습니다. 또한, 전체 리소그래피 시스템을 직접 제어하도록 프로그래밍 할 수 있으며, 수작업 (manual process) 시간을 크게 줄입니다. 이 장치는 최첨단 웨이퍼 처리 (wafer-handling) 및 전송 (transfer) 기술과 호환되므로 거의 모든 운영 장치와 통합 할 수 있습니다. 또한 호스트 컴퓨터와 같은 다른 시스템과 통신할 수 있습니다. 이를 통해 BROOKS AquaTran과 다른 시스템을 완벽하게 통합할 수 있습니다. 마지막으로, 기계는 4000 시간 이상의 실패율 이전의 평균 시간으로, 매우 신뢰할 수 있습니다. 따라서 처리량, 수율 및 품질 제어가 극대화됩니다.