판매용 중고 BROOKS 002-0016-34 #293642901

BROOKS 002-0016-34 웨이퍼 핸들러는 자동 반도체 장비에 사용하도록 설계된 다축 정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러는 다양한 공통 웨이퍼 (wafer) 치수와 호환되며, 복잡하고 오염이 없는 환경에서 사용하기 위한 것입니다. "핸들러 '는 고급 진공" 웨이퍼' 전송 기술 을 사용 하며 "웨이퍼 '를 제어 하고 정확 하게 움직 일 수 있다. 웨이퍼 핸들러는 중량 알루미늄 합금 프레임으로 구성되며 웨이퍼 조작을위한 3 단계 망원경 확장 가능 암을 갖추고 있습니다. 로봇 암은 2 개의 스테핑 모터로 구동되며 웨이퍼를 들어 올려 최대 1106mm (44 인치) 까지 운송 할 수 있습니다. 팔은 부드러운 움직임을 위해 기어와 벨트를 사용하며 빠르고 쉬운 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 제이콥스 척 (Jacobs chuck) 이 내장되어 있습니다. 또한 0.1mm (0.0025in) 해상도의 터치리스 웨이퍼 중심 장비가 특징입니다. 002-0016-34 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 웨이퍼 전송을 정확하게 제어 할 수있는 다중 축 제어 장치가 있습니다. 이 장치에는 장치 기본 (base of the unit) 에 위치한 전용 모션 제어 보드가 장착되어 있으며, 이 보드에는 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형에 대한 다양한 모션 프로파일이 사전 프로그래밍되어 있습니다. 사용자는 필요에 따라 동작 프로파일을 특정 웨이퍼 (wafer) 치수로 사용자정의할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 처리기 (wafer handler) 에는 처리 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼가 제대로 중앙에 유지되도록 하는 광 센서가 포함되어 있습니다. 다중 축 제어 장치 외에도 BROOKS 002-0016-34 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 임베디드 진공 소스를 사용하여 웨이퍼를 전송하는 고급 진공 웨이퍼 전송 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 안전하고 신뢰할 수 있는 진공 환경 (vacuum environment) 을 제공하여 각기 다른 로봇 장비 간의 안전한/정확한 웨이퍼 전송을 보장합니다. 진공 "웨이퍼 '수송기 는 또한" 웨이퍼' 에 입자 와 먼지 가 쌓이는 것 을 막는 파편 제거 도구 를 갖추고 있다. 002-0016-34 웨이퍼 핸들러는 까다로운 제조 환경의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 최대 65 ° C (150 ° F) 의 온도와 상대 습도 수준에서 25% 까지 작동 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 오염이 없는 환경에서 각기 다른 로봇 장비 간에 웨이퍼를 운송하는 안정적이고 효율적인 방법을 제공하도록 설계되었습니다.