판매용 중고 BLUECODE BWS800B #148299

BLUECODE BWS800B 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 프로세스 챔버와 지원 장비 간의 웨이퍼 로드, 언로드 및 전송을 위해 설계된 모든 기능을 갖춘 고성능 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 장치 제작 및 기타 고급 마이크로 일렉트로닉스 생산 공정에서 웨이퍼 전송에 이상적인 솔루션입니다. BWS800B는 최대 처리량, 뛰어난 웨이퍼 배치 정확도, 높은 수준의 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 운영을 통해 운영 프로세스에 빠르고 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 아키텍처는 자체 컨트롤러 (controller) 와 로드 포트 리프트 (옵션) 를 갖춘 독립적인 로드 포트를 통합하여 운영 효율성을 높이고 전송 시간을 단축합니다. 수송시스템 (Transportation System) 은 양방향 액세스를 허용하며, 양면 및 단면 프로세스에 대해 양방향 액세스를 허용하며, 임베디드 (embedded) 소프트웨어를 통해 로봇 암과 웨이퍼 수송장치의 움직임을 제어합니다. "로봇 '팔은 내식성, 튼튼한 재질로 만들어졌으며, 지지대 위에" 웨이퍼' 를 정확하게 배치할 수 있다. 로봇 암에는 위치를 수정하기위한 EPC 센서, 안전한 처리를위한 "암 잠금 (arm lock)" 메커니즘, 기계 내 모든 웨이퍼 위치를 모니터링하는 추적 센서가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 수송 도구 (wafer transport tool) 는 웨이퍼에 깨끗하고 건조하며 일관된 공기 흐름을 보장하는 에어 터빈 펌프 (air turbine pump) 를 특징으로하며 진공 자산은 웨이퍼를 안전하게 보유, 운송 및 방출하는 데 도움이됩니다. 고급 ESD (Electro-Static Discharge) 모델은 전기 부품 및 데이터의 안전을 보장하기 위해 장비를 안전하게 유지하고 웨이퍼 핸들러를 차폐합니다. 이 시스템에는 총 4 개의 독립로드 포트가 있으며 2 개의 암 그리퍼가 장착되어 있으며, 각 포켓에는 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 운반하는 8 개의 포켓이 있습니다. BLUECODE BWS800B는 극한의 환경 조건에서 작동하며, 온도 조절 환경에서 -10 ° C ~ + 45 ° C 까지 작동하며, 특정 미리 정의된 조건이 충족되면 안전하게 종료되어 웨이퍼 처리 작업의 안전성과 신뢰성을 보장합니다. 또한 기본 (out-of-the-box) 방식으로 모든 운영 제품군에 통합할 수 있는 안전 인증을 받았으며, 다운타임 최소화와 성능 극대화를 보장하는 이중화된 구성요소가 포함되어 있습니다. BWS800B 웨이퍼 핸들러 (BWS800B Wafer Handler) 의 설계는 사용자 친화적이며 주요 부품의 LED 표시등 자체 진단 기능, 갑작스런 전원 장애를 위한 수동 재설정, 기계 상태를 검사하는 자체 테스트 등이 포함되어 있습니다. 또한 사용자 지정 가능한 설정과 데이터 관리 옵션이 포함된 직관적인 소프트웨어 (예: 도구의 올바른 구성, 인터넷 연결을 통한 자산 원격 제어) 도 포함되어 있습니다. 이 포괄적 인 웨이퍼 핸들러는 모든 제작 또는 마이크로 일렉트로닉스 생산 프로세스에 귀중한 자산입니다.