판매용 중고 BLUE M S05IEU55 #9236617

BLUE M S05IEU55 웨이퍼 핸들러는 다양한 프로세스에 대한 웨이퍼 전송 및 처리를 위해 설계된 로봇 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 워크스테이션, 프로세스 개발 센터 (process development center), 여러 도구 간에 웨이퍼를 전송할 수 있으므로 자동화된 웨이퍼 처리에서 유연성과 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 기본 장치, 2 개의 상위 리프트 암 및 5 개의 하위 가이드 프로브로 구성됩니다. 기본 단위의 크기는 1750mm x 1150mm이며 작업 면적이 높습니다. 리프트 암은 유압적으로 작동되며 베이스 유닛에서 최대 500mm 위로 들어 올릴 수 있습니다. 하부 가이드 프로브는 또한 유압적으로 작동되며, 베이스 유닛에서 최대 45 ° 까지 상승 할 수 있습니다. 이 기계에는 최대 4 대의 로봇을 제어 할 수있는 6 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 각 "로봇 '은 각기 다른" 파라미터' 를 가지고 있어서 별도 로 혹은 하나 의 "그룹 '으로 움직 일 수 있다. 로봇 암은 가로 900mm, 세로 600mm까지 움직일 수 있습니다. 로봇의 최고 속도는 2.5m/sec, 도달 범위는 1.5m입니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 최대 2 개의 다른 프레임과 8 개의 다른 웨이퍼 크기를 지원할 수있는 자동 웨이퍼 교환 스테이션이 있습니다. Exchange Station에는 통합 비전 (Integrated Vision) 툴과 고품질 이미지 처리 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 공차 (tolerance) 및 머신 비전 (machine vision) 설정을 사용하여 크기가 다른 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 자산에는 양도를 위해 웨이퍼를 안전하게 보유 할 수있는 웨이퍼 리프트가 있습니다. 웨이퍼 리프트 (wafer lift) 의 용량은 최대 3500g이며 웨이퍼를 손상시키지 않고 최대 270 ° 까지 자동 회전할 수 있습니다. 이 모델은 진공 밸브, 힘 센서, 클러스터 도구, 검사 시스템 등 다른 장비와도 호환됩니다. S05IEU55 웨이퍼 핸들러는 모듈식 설계로 제작되었으며 ESD 및 Cleanroom 환경에서 사용하도록 평가되었습니다. 이 장비는 운영 및 유지 보수 비용이 저렴하여 안정적으로 설계되었으며, 다양한 액세서리 (accessory) 와 서비스 (service) 를 통해 지원됩니다. 뛰어난 성능을 갖춘 BLUE M S05IEU55 웨이퍼 처리기는 웨이퍼 처리 작업을 효율적으로 자동화하는 데 이상적인 선택입니다.