판매용 중고 BAUMANN WHO RvO #9091901

BAUMANN WHO RvO은 자동 웨이퍼 처리 시스템에 원활하게 통합되도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 12 인치 웨이퍼 직경의 300mm 직경 웨이퍼를 처리하도록 제작되었습니다. 이 장치는 고도로 고급적이고 정밀한 웨이퍼 처리 장비이며, 총 높이 101mm (tilt base) 의 조절 가능한 틸트 베이스 장치를 포함합니다. 웨이퍼 처리 시스템에는 사이클당 최대 20 개의 동작을 가진 전체 궤적 제어를 갖춘 이중 축 각도 제어 (double-axis angle control) 를 가진 로봇 암이 포함됩니다. 또한 "웨이퍼 클러치 '마운트 를 포함 하여 처리 과정 중 에" 웨이퍼' 를 적절 히 정렬 할 수 있다. 이 장치에는 최대 30 개의 웨이퍼를 감지하고 인식하고, 정확한 웨이퍼 처리를 위해 로봇 암의 기울기 (tilt) 와 각도를 자동으로 조정할 수있는 독특한 비전 머신 (vision machine) 이 장착되어 있습니다. WHO RvO 도구에는 웨이퍼 크기, 거부 장치 및 로더가 장착되어 있습니다. 로더는 3D 원통형 플랫폼 (3D cylindrical platform) 으로 만들어져 웨이퍼를 클램프로 제자리에 넣고 웨이퍼 처리 프로세스 중에 고정시킵니다. 에셋은 또한 배치 연속성을 보장하기 위해 웨이퍼를 신중하게 구성하는 웨이퍼 정렬기 (wafer aligner) 를 갖추고 있습니다. 웨이퍼 크기 (wafer sizever) 를 사용하면 원하는 텍스처와 모양에 웨이퍼를 정확하게 슬라이싱할 수 있습니다. 더는 오염 을 일으키지 않고 자격 없는 "웨이퍼 '를 버리기 때문 에 오염 의 위험 을 피하도록" 거부 장치' 를 조정 한다. BAUMANN WHO RvO은 사용 편의성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 모델은 웨이퍼 처리 프로세스 (Wafer Handling Process) 동안 발생할 수 있는 모든 오작동을 인식하고 적응하여 기계의 다른 부분에 대한 가동 중지 시간 (Downtime) 과 손상 위험 (Risk of Damage) 을 줄일 수 있습니다. 또한 RES (REMOTE-Exchange System) 를 통해 기술적인 문제가 발생할 경우 장치를 효율적으로 원격 진단 및 서비스할 수 있습니다. 결론적으로 WHO RvO는 자동 웨이퍼 처리 시스템에서 직경 300mm 웨이퍼를 정확하고, 안정적이며, 일관되게 처리하도록 설계된 고급형 웨이퍼 처리 기계입니다. 독특한 비전 도구, 조절 가능한 기울기 베이스, 이중 축 각도 제어를 지원하는 로봇 암, 웨이퍼 사이즈 베버, 거부 장치, 로더를 통해 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리에 완벽한 선택이 가능합니다.