판매용 중고 BACCINI / AMAT / APPLIED MATERIALS MAM001000018 #9361537
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ID: 9361537
빈티지: 2011
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24-Positions
Sorting module: (24) Containers
Manual loading and unloading
Line type: Inline
(3) Clusters
Maximum capacity: 1,350 Wafers / hour
Throughput: 1,250 Wafers / hour
Operating time: 95%
Breakage rate: 0.2%
MTBF: 500 Hours
MTTR: 3 Hours
Wafer alignment: Front upwards Noise
Level: 70 dB
MES Connection:
Interface: SECS / GEM
Minimum temperature: 20°C
Maximum temperature: 24°C
Minimum relative humidity: 40%
Maximum relative humidity: 60%
2011 vintage.
BACCINI/AMAT/APPLIED MATERIALS MAM001000018 웨이퍼 핸들러는 반도체 제조 시설에서 웨이퍼를 정확하게 처리하고 조작하도록 설계된 자동 장치입니다. 고성능 모터 (HPD) 와 벨트 드라이브 (Belt Drive) 장비는 물론, 적절한 안전 프로토콜을 준수하면서 생산 속도를 극대화하도록 구성된 제어 시스템 (Control System) 으로 설계되었습니다. 이 부품은 핸들러의 견고한 구조와 함께, 고도의 반도체 제작 작업을 위한 최고의 선택이 됩니다 (영문). AMAT MAM001000018 (AMAT MAM001000018) 은 고유 한 클램핑 장치 (clamping unit) 와 일련의 공압 모터를 사용하여 다양한 크기의 웨이퍼를 카세트 소스에서 픽업하여 원하는 처리 기계로 전송합니다. 한 번에 최대 18 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 125mm/sec 속도의 신뢰성 있고 반복 가능한 모션이 가능합니다. 또한, 엔드 이펙터 (end effector) 위치를 정확하게 배치하여 웨이퍼를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 편리함과 유연성을 염두에 두고 설계되었으며, 간편한 설치/운영을 위한 직관적인 GUI, 다양한 프로그래밍/사용자 정의 옵션을 제공합니다. 이 기계는 웨이퍼 보유 방식 변경, 가속 및 감속 프로파일 (acceleration and deceleration profile), 최종 이펙터의 스핀 속도 (spin speed of the end effector) 등 다양한 조정이 가능합니다. 결과적으로 BACCINI MAM001000018은 중소형 웨이퍼와 대형 웨이퍼에 적합합니다. 마지막으로, 이 웨이퍼 핸들러는 견고한 구성, 다중 수준의 기계적 이중화 (mechanical redundancy), 통합 동작 보호 (integrated motion protection) 덕분에 내구성과 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 기계 부품 과 "알루미늄 '틀 은 마모, 부식, 진동 에 저항 하도록 설계 되어 있으며, 그것 의 신뢰성 수준 을 더욱 높여준다. 또한 모듈식 설계를 통해 간편한 문제 해결 및 유지 보수 (maintenance) 가 가능하며, 내장형 공기 필터는 기계의 수명을 더욱 연장하는 데 도움이 됩니다. 무엇보다도 APPLIED MATERIALS MAM001000018 웨이퍼 핸들러는 업계 최고의 성능과 안정성을 제공하며, 광범위한 정밀 어플리케이션을 위한 최고의 선택입니다. 이 정밀 처리 도구 (precision handling tool) 는 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 빠르고 정확하게 생산하는 데 적합합니다. 고급 구성 요소, 사용자 친화적 제어 기능, 뛰어난 내구성, 안정성 (안정성) 이 결합되어 있습니다.
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