판매용 중고 ASYST WMS 2200 #9269343

ASYST WMS 2200은 ASYST Technologies Inc.에서 개발한 자동화된 웨이퍼 핸들러로, 연구 및 생산 목적으로 효율적이고 안정적인 웨이퍼 전송을 제공합니다. 장비에는 포드 위치 2 개, 웨이퍼 캐리어 4 개, 웨이퍼 자동 로드 및 언로드를위한 전송 챔버가 장착되어 있습니다. 최대 포드 용량은 25mm 웨이퍼 20 개이며, 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼 크기에 따라 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. "와퍼 '의 방향 을 실시간으로 탐지 하고 식별 할 수 있는" 비전' 장치 가 장착 되어 있어서 "와퍼 '를" 캐리어' 로부터 "포오드 '로 정확 히 옮긴다. WMS 2200 은 진공기와 웨이퍼 (wafer) 처리 패널로 구성되며, 웨이퍼 (wafer) 전송에 대한 정확하고 제어된 압력으로 웨이퍼를 손상시킬 위험을 줄입니다. 에셋이 공기 압력 수준을 감지하고 모니터링 할 수있는 신호 소스와 2 단계 진공 도구 (2 단계 진공 도구) 를 통합합니다. 웨이퍼 처리 패널 (Wafer Handling Panel) 은 정확한 전송을 위해 웨이퍼 방향을 감지하는 웨이퍼, 센서 및 동작 감지기 (Motion Detector) 를 전송하는 데 사용할 수있는 진공 픽업 (vacuum pickup) 으로 구성되며, 조정이 가능한 홀더는 전송에 대한 압력을 제어합니다. 이 모델에는 wafer transfer (웨이퍼 전송) 프로세스를 제어할 수 있는 통합 제어 장비도 장착되어 있습니다. 제어 시스템을 사용하여 여러 웨이퍼 전송 시퀀스 (wafer transfer sequence) 를 미리 설정하고 웨이퍼 전송 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 Wafer Transfer Process 상태를 모니터링 및 관리하기 위한 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. ASYST WMS 2200은 광범위한 어플리케이션에서 안정적인 웨이퍼 전송 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 디자인과 고정밀 (high-precision) 기능을 통해 뛰어난 성능을 제공하므로 연구 및 생산 요구에 이상적인 선택입니다. 사용자 친화적 인 컨트롤 머신과 다양한 기능으로 인해 WMS 2200 (WMS 2200) 은 다양한 유형의 웨이퍼 전송에 적합하며, 웨이퍼 전송에 안정적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다.