판매용 중고 ASYST WMS 2200 #293636083

ASYST WMS 2200은 고급 웨이퍼 전송 시스템에 내장되어 자동화된 웨이퍼/레티클/다이 정렬, 로드 및 언로드 기능을 제공하는 웨이퍼 핸들러입니다. WMS 2200은 통합 재료 추적, 경보 관리 및 업계 최고의 소프트웨어로 탁월한 성능을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러는 1300mm x 1430mm, 폭 865mm, 높이 1658mm, 최대 무게 1300kg으로 확장 가능하고 완전히 구성 가능합니다. ASYST WMS 2200은 최대 8 개의 200mm 웨이퍼, 여러 레티클, 다이 및 패널을 포함하여 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 각각 2 개의 독립적 인 로드 스테이션이 장착 된 2 개의 자동 로드 및 언로드 시스템이 있습니다. WMS 2200에는 2 개의 표준 FOUP (Front Opening Unified Pod) 포트, 2 개의 수직 FOUP 포트, 2 개의 낮은 높이 FOUP 포트 및 2 개의 수직 카세트 포트도 있습니다. 이러한 모든 포트는 다양한 높이의 포드 유형 (pod type) 과 다른 형상의 도어 유형 (door type) 을 포함하여 전체 범위의 FOUP 크기를 지원합니다. 고급 웨이퍼 전송 시스템이 장착 된 ASYST WMS 2200에는 일련의 내부 센서 및 최첨단 모션 컨트롤도 포함되어 있습니다. 이 컨트롤은 최소 모션 지터 (최대 32,000mm/min) 의 작동 속도에서도 정확하고 안정적인 작동을 보장합니다. 센서는 기판 변형 및 정렬을 감지하고, 적절한 처리 동작을 확인하고, 다이 식별 정보를 확인하는 데 도움이 됩니다. 또한 WMS 2200에는 봇 도어 연동 제어 시스템, FOUP 도어 안전 및 클램프, 잘못 정렬 된 트립 존 (trip zone) 및 소프트 스톱 감지, 빠른 정지 감지, 이동 부품에 대한 연동 및 커버를 포함한 광범위한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 핸들러에는 다중 레벨 카세트 액세스 시스템, 터치스크린 그래픽 사용자 인터페이스, 사용자 정의 작업을 위한 다양한 조정 가능한 매개변수 (user-friendly) 와 같은 여러 가지 기능이 있습니다. 또한 ASYST WMS 2200 에는 광범위한 자동 실시간 진단, 매개변수 세트, 바코드 리더기 (barcode reader) 시스템, 다양한 재료 추적 데이터베이스 및 유틸리티가 포함되어 있어 안정성과 유연성이 뛰어납니다. 결국, WMS 2200은 강력한 자동화, 고급 안전 기능, 사용자 친화적 기능을 결합하여 고속, 고정밀 (high-precision) 작동을 가능하게 하는, 많은 어플리케이션에 적합한 완벽한 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 광범위한 재료 처리, 추적, 공정 제어 기능을 통해 반도체 및 옵토 (opto) 전자 제조업체를 위한 최고의 선택이 됩니다.