판매용 중고 ASYST VUV-7000 #9162955

ASYST VUV-7000 (ASYST VUV-7000) 은 전자 제품, 제약, 반도체 산업과 같은 업계의 사용자를 위해 자재 운송 및 전송을 단순하고 효율적으로 할 수 있도록 설계된 고급 자동화 기능을 포함하는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치에는 4 개의 선형 동작 축이 있으며 총 이동 범위는 11 인치입니다. 각 축의 움직임은 내장형 서보 (servo) 장비로 구동되며, 이 장비는 매우 정확한 재료 배치와 처리를 가능하게 합니다. 또한 "로봇 '무기 를 사용 하는 동안 에 재료 를 안전 하게 보관 하는 통합 진공" 시스템' 도 포함 된다. VUV-7000 의 이중 암 (dual-arm) 구조를 사용하면 로드 및 언로드, 전송 및 이동 웨이퍼에 이르기까지 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행할 수 있습니다. "로봇 '은 각 축 에 대해 독립적 인" 모터 드라이브' 를 가지고 있어서 "웨이퍼 '의 회전 을 정확 히 제어 하여 독립적 인 작업 을 할 수 있다. 로봇의 포지셔닝 정확도는 0.2mm이며, 6 축 기능은 초저 토크 크로스 토크와 고급 스핀들 커플 링 (spindle coupling) 을 허용합니다. 이를 통해 ASYST VUV-7000은 까다로운 어플리케이션 (예: 반도체 제조 공정의 고정밀 재료 전송) 에 적합합니다. VUV-7000 은 또한 통합 웨이퍼 수준의 유전체 테스트 루프 (dielectric testing loop) 를 갖추고 있으며, 이 루프는 처리 중 웨이퍼의 유전체 특성을 측정하고 측정합니다. 이 루프는 고급 컨트롤러 장치 (Advanced Controller Unit) 와 통합되어 Wafer 성능 및 프로세스 재료를 보다 효율적으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, ASYST VUV-7000은 연약한 웨이퍼에서 진공 밀봉 장치까지 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 향상된 비전 머신 (Enhanced Vision Machine) 을 통해 사용자는 전체 재료 전송 경로를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 따라서 기계의 위치와 동작을 거의 즉시 조정할 수 있습니다. 또한 VUV-7000 은 안전한 엔클로저 및 잠금 메커니즘을 비롯한 다양한 안전 기능을 제공합니다. 거친 환경에서 사용하도록 설계되었으며 최대 50 ° C의 온도 저항이 있습니다. 간단히 말해서, ASYST VUV-7000 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 업계의 사용자를 위해 자재 운송 및 전송을 더욱 단순하고 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 고급 자동화 솔루션입니다. 통합 진공 도구, 6 축 기능, 유전체 테스트 루프 및 향상된 비전 자산은 모두 까다로운 어플리케이션에 적합합니다. 또한, 다양한 안전 기능 및 온도 저항으로 인해 가혹한 환경에 적합합니다.