판매용 중고 ASYST VersaPort #9277985

ASYST VersaPort는 여러 스테이션 도구 사이에서 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 이동하도록 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 즉, 완전 자동화된 단일 멀티 축 (multi-axis) 로봇을 사용하여 프런트엔드 및 백엔드 제품의 로드 및 언로드 프로세스를 신속하게 수행할 수 있습니다. 따라서 VersaPort는 웨이퍼 처리량 프로세스 애플리케이션에 이상적입니다. ASYST VersaPort는 고속 반도체 웨이퍼 전송에 대한 높은 정확도, 반복 가능성 및 정확성을 제공합니다. 사용자 지정 스캐닝 기술이 적용된 구성 가능한 4축 또는 6축 설계를 제공하여 몇 초 안에 전체 웨이퍼 교환을 수행할 수 있습니다. UltraSmooth ® 모션 제어 시스템을 통해 부드럽고 조용한 움직임을 보장합니다. 이것은 모든 축에서 동기화된 동작을 통해 달성됩니다. 핸들러의 서보 드라이브와 멀티 축 (multi-axis) 로봇 암은 사용자 친화적이며 사용이 간편한 소프트웨어 플랫폼으로 액세스할 수 있습니다. VersaPort는 정확하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위한 다양한 기능을 제공합니다. 여기에는 통합 비전 시스템, 로봇 엔드 오브 암 (robotic end-of-arm) 도구 및 다양한 크기의 카세트를 공급하기위한 여러 팔레트 위치가 포함됩니다. 로드 포트는 안전과 보안을 위해 자력 핀으로 마그네틱하게 밀봉됩니다. 이 "핸들러 '는 직관적 인" 소프트웨어' "플랫폼 '과 완전 히 통합 되어 여러 가지" 웨이퍼' 크기 와 종류 를 쉽게 설치 할 수 있다. ASYST VersaPort는 또한 고급 센서 기술을 자랑하여 고정밀 처리를 위해 탁월한 성능을 제공합니다. 이 센서 기술은 각 도구 전송 사이에 수동 웨이퍼 중심이 필요하지 않습니다. 또한, 시스템은 조정 가능한 노즐 (nozzle) 을 장착하여 다양한 웨이퍼 크기를 정확하게 처리 할 수 있습니다. VersaPort는 사용자 안전을 염두에두고 제작되었습니다. 상단 및 하단 덮개 도어, 엄지 안전 스위치, 라이트 커튼, 인터록, 비상 정지 단추 등의 여러 안전 기능을 통합합니다. 이렇게 하면 처리기가 항상 안전하고 안전하게 유지됩니다. 결론적으로, ASYST VersaPort는 반도체 웨이퍼 교환을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 로봇 핸들러입니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 플랫폼, 센서 기술, 안전 (Safety) 기능을 통해 업계에서 가장 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리기 중 하나입니다.