판매용 중고 ASYST VersaPort #9228375

ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 전면 및 후면 웨이퍼 스토리지에서 반도체 웨이퍼를 안정적이고 효율적으로 처리하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 설계를 통해 초당 최대 200mm (200mm) 의 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. VersaPort는 주로 집적 회로 칩 및 기타 관련 구성 요소의 제작에 사용됩니다. ASYST VersaPort는 베이스와 캐리지의 두 가지 바디 파트로 구성됩니다. 베이스는 장치의 기초이며 드라이브 모듈, 모터, 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 캐리지에는 웨이퍼 리셉터클 (wafer receptacle) 및 웨이퍼 셔틀 (wafer shuttle) 을 포함한 주요 웨이퍼 처리 구성 요소가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 리셉터클은 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 이 제품은 금속과 플라스틱 소재로 제작되어 손상 없이 빠르고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 이동을 보장합니다. "웨이퍼 셔틀 '은" 웨이퍼' 를 "리셉터클 '에서 저장 구획 으로, 혹은 최종 사용자 에게 직접 옮길 수 있는 기계적 인 팔 이다. VersaPort는 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 고급 로봇 공학 및 제어 기술을 갖추고 있습니다. 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 사용하면 웨이퍼 입력 및 출력을 정확한 속도 및 궤적에서 정확하게 처리 할 수 있으며, 웨이퍼를 정확하게 배치하고 픽업할 수 있습니다. 또한 ASYST VersaPort 에는 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 식별하고 차별화할 수 있는 정교한 비전 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 원하는 웨이퍼의 경로가 정확해집니다. VersaPort 에는 운영 제어, 웨이퍼 관리 및 추적, 진단 기능을 제공하는 강력한 소프트웨어 플랫폼이 포함되어 있습니다. 또한 E-Stop 및 속도 제한기와 같은 고급 안전 기능도 제공합니다. E-Stop (E-Stop) 기능은 암과 모든 작업을 즉시 중단하는 반면, 속도 제한기는 웨이퍼 셔틀의 속도를 조절하고 관리합니다. 이를 통해 웨이퍼 처리에 더 큰 안전이 가능합니다. 전반적으로 ASYST VersaPort는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 고급 설계는 웨이퍼의 처리량, 정확한 데이터 처리, 정확한 웨이퍼 배치 및 픽업 (pick-up) 을 보장합니다. 또한 안전 기능은 운영자와 웨이퍼 (wafer) 처리 품질을 보장합니다.