판매용 중고 ASYST VersaPort #9219619

ASYST VersaPort는 반도체 웨이퍼의 자동 인라인 로딩 및 언로드를 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 전체 자동 (Fully Automated) 처리기로, 처리량이 높으며 설정 시간을 줄이고 인간의 상호 작용을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. VersaPort 는 다양한 프로세스 옵션과 툴 기능을 통해 최고의 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 사이클당 최대 15 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 효과적이고 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 솔루션으로 설계되었습니다. VersaPort 에는 프로세스 제어, 웨이퍼 정렬, 검사 기능을 지원하는 Vision 시스템 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 이러한 비전 시스템은 또한 웨이퍼 스크래치 (wafer scratch) 및 기타 결함을 감지하여 프로세스 중 정확한 웨이퍼 처리를 가능하게 할 수 있습니다. ASYST VersaPort 는 다양한 프로세스 툴과 상호 작용할 수 있으며, 기존 처리 라인에 통합될 수 있습니다. 수동 작업 없이 한 도구에서 다른 도구로 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 수 있으며, 인라인 (in-line) 및 오프라인 (off-line) 작업 모두에 맞게 구성할 수 있습니다. VersaPort에는 높은 처리량과 균일성을 갖춘 다양한 프로세스 옵션이 있습니다. 이러한 공정 (process) 옵션은 처리량을 극대화하고 결함이 최소화되어 가장 높은 수율을 창출하도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort는 또한 충전, 이동 및 충전 해제 웨이퍼를 할 수있는 고급 로봇 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 프로세스 도구를 로드 및 언로드하는 동안 정확한 웨이퍼 처리를 위해 2 단계 분해 장치를 사용합니다. "로봇 '기계 는" 에너지' 효율적 인 설계 로 "에너지 '소비 를 감소 시킨다. 빠른 프로세스 변경 및 레시피 개발을 위해 오프라인 프로그래밍 가능한 소프트웨어 인터페이스가 통합되었습니다. VersaPort에는 다양한 안전 메커니즘과 운영자 및 웨이퍼 안전성을 보장하는 기능이 있습니다. 정밀 정렬 및 자동 웨이퍼 처리로 사람의 오류를 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 도구가 포함되어 있어 잘못된 정렬을 감지하고 프로세스 수정에 대한 피드백을 제공합니다. ASYST VersaPort 는 직관적인 사용자 인터페이스와 고급 자동화 기능을 통해 다운타임을 줄이고 생산성을 높이도록 설계되었습니다.