판매용 중고 ASYST VersaPort #9213041

ASYST VersaPort는 다양한 어플리케이션에서 빠르고 효율적으로 생산할 수 있도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort는 단일 피스 멀티 스테이션 웨이퍼 (Multi-Station Wafer) 전송 장비로, 역방향 및 수평 방향으로 정확하고 안정성을 제공합니다. Wafer 를 자동으로 또는 수동으로 로드하여 여러 애플리케이션을 지원하도록 구성할 수 있습니다. ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 사용자 정의 가능한 유연성을 갖춘 단일 웨이퍼 핸들러를 확장 할 수있는 모듈식 시스템을 사용합니다. 이 장치는 가능한 한 컴팩트하게 설계되었으며 중앙 집중식 (Centralized Control) 하드웨어 시스템에 의해 제어됩니다. 내부 정전기 클램프 (in-situ electrostatic clamp) 도구는 이동 중 정확한 배치를 위해 동작 축과 웨이퍼 사이에 일정한 접촉을 제공합니다. VersaPort 의 고급 설계와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 다양한 컨트롤과 기능을 제공하여 운영 효율을 보장합니다. ASYST VersaPort의 지원 액세서리는 로봇 본체에 통합되어 추가 기능을 제공 할 수 있습니다. 여기에는 자동 로드 잠금 추가 기능, 사전 정렬 장치 및 버퍼 스태커가 포함됩니다. 이러한 액세서리는 VersaPort 운영 시 수동 처리 양을 줄이기 위해 설계되었습니다. 에셋에는 어플리케이션에 따라 다양한 구성을 허용하는 로드/언로드 암 (load/unload arms), 웨이퍼 척 (wafer chucks) 및 어댑터 플래터 (adapter platter) 도 포함됩니다. ASYST VersaPort는 고속 정렬, 높은 정확도 장비 제어, 웨이퍼 전송 및 인덱싱을 수행 할 수 있습니다. 정교한 비전 모델을 사용하면 초당 5 + 웨이퍼의 웨이퍼 인식, 정렬 및 바코드 읽기 성능이 가능합니다. 로드 안정성은 견고한 프레임 설계와 비접촉 센서 (non-contact sensor) 기술로, 전송 중 웨이퍼 안정성을 유지합니다. 이 장비에는 질소 퍼지, 진공 전달, 전자 빔 제어 인터페이스 (옵션) 와 같은 환경 제어 기능도 포함됩니다. VersaPort 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 을 사용하면 다양한 wafer 애플리케이션을 위한 단일 플랫폼의 효율성을 경험할 수 있습니다. 강력하고, 컴팩트하며, 신뢰할 수 있는 설계를 통해 Wafer 처리 요구에 경제적인 솔루션을 제공합니다. 각 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있으며, 확장이 가능하며, 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 다양한 기능과 액세서리, 강력한 제어 기능을 통해 제조 효율성과 처리량을 향상시킵니다.