판매용 중고 ASYST VersaPort #9167556

ASYST VersaPort는 웨이퍼 처리의 속도와 정확성을 향상시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 소형· 이동식 장비로, 실험용· 산업용 모두에 적합하다. 높은 수준의 자동화 (automation) 와 유연성을 결합하여 다양한 구성을 수용할 수 있습니다. VersaPort 시스템은 최대 250mm의 최대 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 민감한 작업을 위해 N2-purge 옵션이 내장되어 있습니다. 또한 일정한 온도를 유지하기 위해 고급 웨이퍼 등온 환경 (advanced wafer isothermal environment) 이 특징이며, 이는 성공적인 웨이퍼 처리에 필수적입니다. 다용도 장치는 자동 웨이퍼 클램프 및 로딩, 자동 정렬 및 웨이퍼 스테이징, 통합 사전 프로세스 검사 (pre-process inspection) 등 다양한 기능을 제공합니다. 또한 웨이퍼 최적화 (Wafer Optimization) 및 웨이퍼 위치 모니터링을위한 내부 웨이퍼 모터 (Internal Wafer Motor) 및 복잡한 이동 제어를 위한 통합 비전 기능이 있습니다. 이 기계는 웨이퍼 처리 주기 내내 자동화를 지원합니다. 필요에 따라 정확하고 반복 가능한 위치 지정 (positioning) 및 이동 (movement) 과 반복 가능한 측정 및 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 을 제공합니다. 이 툴은 또한 수작업 (manual intervention) 을 줄이고 운영 효율성을 높이고 자산 신뢰성을 높이도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort 는 고성능 소프트웨어 툴, 툴 세트, 라이브러리에서 지원되므로 사용자는 모델 보안을 유지하면서 작업을 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. 기술 지원 및 교육, 서비스 패키지, 최신 소프트웨어 업데이트 등이 포함된 지원 패키지가 있습니다. 마지막으로 VersaPort 장비는 포괄적인 안전 및 규정 준수 기능을 제공합니다. 레이저 (Laser), 웨이퍼 오염 방지 (Wafer Contamination Protection), Cleanroom 등급 사용자 및 머신 인터페이스 (Machine Interface) 등 포괄적인 안전 및 규정 규정으로 설계되었습니다. 이 시스템에는 민감한 웨이퍼를 처리하기위한 여러 격리 된 채널도 있습니다. 결론적으로, ASYST VersaPort는 강력하고 다목적 인 웨이퍼 핸들러 유닛으로, 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 처리 할 수 있습니다. 자동화된 정렬 및 스테이징, 사전프로세스 검사, 다양한 안전/규정 준수 (Safety and Compliance) 기능 등, 효율적이고 정확한 처리를 보장하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다.