판매용 중고 ASYST VersaPort #293745391

ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 제조 공정의 일환으로 반도체 웨이퍼를 운송 및 조작하는 데 사용되는 웨이퍼 처리 장비입니다. 셀과 프런트 엔드 (front-end) 도구 세트에 웨이퍼를 이동 및 정위하는 데 사용되며 중앙 PC 기반 컨트롤러에서 실행됩니다. VersaPort 는 제조 라인의 여러 부분과 통합될 수 있으며, 프런트엔드 (Front-End) 로드 및 언로드 모듈과 몇 가지 추가 구성 요소가 있습니다. ASYST VersaPort는 고정 베이스와 여러 통합 구성 요소 (로봇, 로봇 드라이브, 포트 능력 로봇, 로봇 컨트롤러 포함) 로 구성됩니다. "로봇 '은 한 위치 에서 다른 위치 로" 웨이퍼' 를 이동 시키고, 그것 을 지향 하고 조종 하는 역할 을 한다. 또한 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼, 우발적 인 웨이퍼를 꼬거나 깨지 못하도록 개폐식 암 (Arm) 과 같은 여러 안전 기능이 있습니다. 휴대성 (Portability) 로봇은 이동이 가능하며 여러 도구 세트 사이에서 쉽게 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 그것 은 또한 "스페이스 세이버 '이기도 하다. "로봇 '" 컨트롤러' 는 "시스템 '의 두뇌 이며" 와퍼' 를 효율적 이고 안전 하게 움직 이고 방향 을 정하는 방법 에 대하여 "로봇 '을 지도 한다. 또한 공기 압력 (air pressure) 의 흐름을 제어하여 다음 도구 세트로 여행하는 동안 웨이퍼를 안정적으로 유지합니다. 두 시스템은 로봇의 수직 (vertical) 과 수평 (horizontal) 동작을 담당하는 로봇 드라이브로 연결됩니다. 버사 포트 (VersaPort) 는 인체 공학적/사용자 친화적으로 설계되었으며, 손쉬운 액세스가 가능하며, 웨이퍼의 효율적이고 안전한 조작이 가능합니다. 관리 및 유지 관리가 용이한 Windows 기반 장치에서 실행됩니다. 또한 각기 다른 사용자가 특정 요구에 맞게 시스템을 프로그래밍할 수 있도록 다양한 수준의 액세스 권한 (access privilege) 을 제공합니다. 이 도구는 Back-End 도구 세트, Front-End Loader 및 Digital Image Acquisition 시스템과 같은 다른 시스템과도 통합될 수 있습니다. 전반적으로 ASYST VersaPort는 효율적이고 유연한 웨이퍼 처리 자산으로 설치, 사용, 유지 관리가 용이합니다. 신뢰할 수 있으며 웨이퍼 조작을위한 안전한 환경을 제공합니다. 또한, 이 모델은 다양한 목적에 맞게 사용자 정의가 가능합니다.