판매용 중고 ASYST VersaPort #293600170

ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 반도체 업계의 많은 웨이퍼 처리 어플리케이션의 요구를 충족하기 위해 통합, 단일 위치 로봇 장비를 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort 는 픽 (pick) 및 플레이스 (place) 기능을 모두 지원하며 변화하는 프로세스 및 운영 요구 사항을 충족할 수 있는 높은 수준의 유연성과 확장성을 갖추고 있습니다. ASYST VersaPort 시스템은 로봇, 컨트롤러, 주변 장치 연결용 모듈 등 여러 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 관절 로봇 암 (articulated robot arm) 으로도 알려진 VersaPort 로봇은 자율적이고 적응적으로 작동 할 수있는 다목적 고속 로봇 장치입니다. 컨트롤러는 다중 축 동작 제어, 경로 제어, 레시피 관리 및 로봇 명령 실행을 단일 계층 제어 시스템 (Hierarchical Control Machine) 에 통합하는 통합 모듈식 모션 컨트롤러입니다. 주변 장치 연결 모듈은 ASYST VersaPort 도구를 통해 다양한 웨이퍼 장비 및 구성 요소 (예: 스핀 튜브, 플립 튜브, 픽 앤 플레이스 척) 와 인터페이스 할 수 있습니다. VersaPort는 고급 로봇 비전 (robotic vision) 시스템을 사용하여 카세트 슬롯에 웨이퍼를 검사, 식별, 정확하고 신속하게 배치합니다. 또한 ASYST VersaPort 는 로드 잠금 (load-lock) 기능과 진공 관리 기능을 통해 전송 과정에서 웨이퍼가 빠져나오거나 손상되지 않도록 합니다. 또한, VersaPort에는 자산 장애 위험을 줄이기 위해 통합 센서 및 안전 시스템이 제공됩니다. "센서 '들 은" 로봇' 지역 의 상태 (예: 모델 스트레스 '와 로드) 를 탐지 하고 모니터링 하여 "로봇' 이 비상 사태 가 발생 할 때 중단 시키거나 재지정 할 수 있게 한다. 안전 시스템에는 통합 Door Interlock 장비와 비상 정지 버튼이 포함됩니다. ASYST VersaPort는 자동화된 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 지원하기 위해 강력한 소프트웨어 및 프로그래밍 시설을 갖추고 있습니다. 광범위한 모션 프로그래밍 기능, 다중 레벨 제어, 매개변수 및 정의, 고급 레시피 제어, 교환 가능한 프로그램 시퀀스가 있습니다. 또한 VersaPort 는 프로세스 및 애플리케이션에 따라 쉽게 재구성할 수 있습니다. ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 다목적 고속 로봇 시스템으로, 뛰어난 유연성과 확장성을 제공합니다. 자동 모션, 비전 검사 및 안전 시스템을 단일 위치 솔루션으로 결합합니다. VersaPort는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 높은 수율로 빠르고 정확한 작동을 가능하게 합니다.