판매용 중고 ASYST VersaPort #293587537

ASYST VersaPort (ASYST VersaPort) 는 비용을 절감하고, 처리량을 높이고, 반도체 및 광전자 생산을 위해 높은 수준의 자동화를 가능하게하도록 설계된 아트 웨이퍼 핸들러의 상태입니다. VersaPort는 직경이 최대 12 "인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 광범위한 웨이퍼 크기와 프로세스에 유연성을 제공합니다. 입력에서 출력으로, 완전히 자동화된 방식으로 웨이퍼를 전송하고 처리합니다. ASYST VersaPort는 몇 가지 주요 구성 요소, 즉 ASIC (Application Specific Integrated Circuit), 암 모듈, 어댑터 모듈 및 주변 인터페이스로 구성됩니다. ASIC는 ASYST Technologies 설계 툴킷의 제품이며 VersaPort 장비의 중앙 제어 로직으로 작동합니다. 전체 시스템을 지원하고 사용자의 특정 요구를 충족합니다. 암 모듈은 ASYST VersaPort의 필수 구성 요소입니다. 로봇 암에 너클 조인트 엔드 이펙터 (knuckle-jointed end effector) 를 제공하여 웨이퍼를 이동, 회전 및 조작 할 수 있습니다. 어댑터 모듈 (Adapter module) 은 사용 중인 동안 Wafer 를 안전하게 마운트하는 플랫폼을 제공하며, 커넥터 간에 Wafer 를 쉽게 교환할 수 있습니다. 또한, 이온 임플랜터, CVD 스퍼터링 시스템, 오븐 치료 및 매핑 도구와 같은 외부 가공 도구와 통합하는 데 사용될 수 있습니다. 주변 장치 인터페이스는 VersaPort의 마지막 주요 구성 요소입니다. ASYST VersaPort와 Vision 시스템, 매핑 도구, 프린터와 같은 주변 장치 간의 연결 역할을합니다. 이 인터페이스는 암 모터 (arm motor) 와 함께 작동하여 이러한 장치를 쉽게 통합하고 웨이퍼 (wafer) 생산을 원격 모니터링할 수 있습니다. 현재 VersaPort의 이터레이션은 EEI (End Effector Interchangeability) 와 같은 몇 가지 추가 기능을 제공하며, 이를 통해 다양한 웨이퍼 크기, 레이아웃, 형상 및 프로세스를 수용하기 위해 엔드 이펙터를 빠르고 쉽게 교환 할 수 있습니다. EEI는 또한 편리한 유지 관리 및 서비스 용이성으로 인해 다운타임을 줄입니다. 이 장치는 또한 모듈식 (modular) 으로 구성이 가능하며, 사용자의 요구에 따라 시스템을 유연하고 확장할 수 있습니다. 핵심 ASYST VersaPort 구성 요소 외에도 ASYST는 특정 생산 요구를 위해 VersaPort를 추가로 사용자 정의하는 추가 액세서리 제품을 제공합니다. ASYST TechnologiESYST VersaPort 웨이퍼 핸들러는 높은 처리량과 비용 효율적인 웨이퍼 생산을 위한 최고의 솔루션입니다. 고급 엔지니어링 (Advanced Engineering), 전용 액세서리 (Dedicated Accessory) 및 구성성 (Configurability) 을 통해 대량의 웨이퍼와 기판을 자동으로 정확하게 처리하고자 하는 기업에게 탁월한 선택이 가능합니다.