판매용 중고 ASYST VersaPort STD AMP #9251766

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ID: 9251766
빈티지: 2004
Load ports P/N: 9700-5384-11 Left & right 2004 vintage.
ASYST VersaPort STD AMP는 ASYST Technologies에서 개발 한 모듈 식, 프로그래밍 가능 및 자동 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort STD AMP 장비는 사용자 정의가 가능하도록 특별히 설계된 다중 축 웨이퍼 처리 (Multi-Axis Wafer Handling) 솔루션으로, 생산 요구 사항을 보다 유연하게 충족할 수 있습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리하고 가장 복잡한 웨이퍼 (wafer) 처리 프로세스의 요구를 쉽게 충족할 수 있습니다. ASYST VersaPort STD AMP는 2 축 시스템뿐만 아니라 "J" 및 "L" 동작 스타일을 갖춘 높은 정밀도 온도 및 동작 제어 장치로 지원되는 표준 회전 다중 축 모듈을 갖추고 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 전용 웨이퍼 무버 (mover) 와 특수 감지 및 청소 장비를 사용하여 웨이퍼를 효과적으로 청소하는 '자동 청소 (auto clean)' 기능을 제공합니다. 또한 VersaPort STD AMP에는 사이클당 최대 25 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 처리량 최적화 palletizing 프로세스가 포함되어 있어 기존 웨이퍼 핸들러에 비해 처리 속도가 상당히 빠릅니다. ASYST VersaPort STD AMP는 확산 용광로, 증착실, 열 연금실 등 고객의 공정 도구와 완벽하게 통합되도록 구성될 수 있으며 결함 웨이퍼를 탐지하기 위한 고급 검사기 (옵션) 를 포함합니다. VersaPort STD AMP의 고급 기능 세트에는 통합 양면 웨이퍼 핸들러, 향상된 웨이퍼 로딩/언로드, 웨이퍼 표면의 오염을 줄이기 위해 설계된 먼지 여과 도구 (dust filtration tool) 도 포함됩니다. ASYST VersaPort STD AMP (ASYST VersaPort STD AMP) 는 안전하고 사용하기 쉽고, 프로그램 가능한 예외 처리 프로그램으로, 프로덕션 프로세스의 중단을 방지하는 데 도움이 되는 오류 복구 및 수정 루틴을 제공합니다. 이 신뢰할 수 있는 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 에셋은 명령 입력이 단순화되는 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 갖추고 있으며, 다중 레벨 보안 모델을 통해 권한이 있는 사용자만 장비에 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 ASYST Technologies VersaPort STD AMP는 다양하고 유연한 웨이퍼 처리 솔루션으로, 사용자에게 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 현대 반도체 산업 의 점점 더 복잡 해지는 수요 를 충족 시키기 에 적합 한 "디자인 '이다.
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