판매용 중고 ASYST VersaPort STD AMP #293591862
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ID: 293591862
빈티지: 2002
Load port
P/N: 9700-5384-11
With Moca smoke
P/N: 9700-6023-01
2002 vintage.
ASYST VersaPort STD AMP는 반도체 웨이퍼 처리 장치 (Wafer Handling Unit) 로서 업계 최고의 정확성과 안정성으로 다양한 자동 웨이퍼 처리 단계를 지원합니다. STDAAMP는 강력한 VersaPort 로봇 기술 제품군을 통합했으며, 최대 10 미크론의 위치 정확성을 갖춘 일관되고 반복 가능한 모션 프로파일을 제공합니다. 이 운동 정밀도 는 모든 환경 조건 과 "로봇 '의 행동 반경 길이 에 걸쳐 유지 된다. VersaPort Standard AMP는 다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 개방형 장비 설계를 갖추고 있습니다. 또한 이 설계를 통해 캐리어, 로드록 등 다양한 웨이퍼 처리 구성 요소와 손쉽게 통합할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 통합 작동 제어 소프트웨어 및 표시기를 사용하여 웨이퍼 처리 단계의 자동화를 단순화합니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하여 컴퓨터나 컨트롤러에서 작업을 원격으로 제어할 수 있습니다. VersaPort STD AMP는 수년 동안 안정적인 작동을 보장하기 위해 견고한 스테인레스 스틸 프레임으로 제작되었습니다. 통합 안전 시스템은 다양한 수준의 환경 모니터링 및 보호를 제공합니다. 이 고급 장치는 계획되지 않은 운영자 (unplanned operator) 또는 환경 사고 (environmental incident) 를 감지하고 대응하여 현대의 자동 웨이퍼 처리 기계에 대한 최적의 안전 등급을 제공 할 수 있습니다. STDAAMP는 재순환 캐리어, 내부 기어 박스 (internal gear box), 모터 교체 (replace of motor) 와 같은 부품을 쉽게 액세스하고 유지 관리할 수 있도록 사용자를 염두에 두고 설계되었습니다. 직관적 인 설계로 각 구성 요소는 적절한 선택 및 사용을 위해 색상 코드 표시가 있습니다. 또한 ASYST VersaPort STD AMP 는 최대 10 ms 의 신속한 응답 시간을 제공하기 때문에 웨이퍼 프로세싱 (wafer processing) 에 소요되는 시간을 단축하는 데 유용합니다. 이 신속한 응답 시간을 통해 자동화 속도, 처리량 증가, 생산성 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 VersaPort STD AMP는 효율적이고, 안정적이며, 사용하기 쉬운 웨이퍼 처리 도구로서 반도체 웨이퍼 처리에 적합합니다. 통합 제어 자산 (Integrated Control Asset) 은 웨이퍼 처리 프로세스를 단순화하는 반면, 견고하고 안정적인 구성은 유지 관리를 최소화하면서 수년간 사용할 수 있습니다.
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