판매용 중고 ASYST Versaport 9700-6107-01 #9075770
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ASYST Versaport 9700-6107-01은 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 수용 할 수있는 고정밀 웨이퍼 핸들러입니다. 독특한 디자인은 뛰어난 이동성과 웨이퍼 수송을위한 뛰어난 취급 기능을 제공합니다. 장비의 최대 웨이퍼 직경은 300mm, 최소 75mm이며 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 여기에는 하나의 웨이퍼를 하나의 카세트에서 다른 카세트, 뚜껑으로, 또는 둘 다로 옮길 수있는 2 개의 독립적으로 프로그래밍 가능한 암이 포함됩니다. 이 시스템은 트리플 클램프 암 (triple-clamp arm), 듀얼 클램프 암 (dual-clamp arm) 및 뚜껑을 포함한 구성 가능한 전송 장치 세트로 설계되었습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 이러한 도구를 제어할 수 있으므로 수동 처리 없이 웨이퍼를 한 곳에서 다른 곳으로 쉽게 전송할 수 있습니다. 핸들러에는 높은 토크 모터와 여러 위치 설정도 포함됩니다. Versaport 9700-6107-01은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리를 위해 정밀 자동 및 수동 제어 시스템으로 구동됩니다. 최첨단 비전 유닛과 스캐닝 머신 (Scanning Machine) 은 웨이퍼 방향과 정확한 배치 정확도로 픽 앤 플레이스 (pick and place) 동작을 용이하게합니다. 이 도구는 또한 안전성을 향상시키기 위한 통합 정적 (anti-static) 자산을 갖추고 있으며 PC 또는 ASYST 모션 제어판에서 제어할 수 있습니다. 또한 직관적이고 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 업계 표준 통신 프로토콜 (Communications Protocol) 을 통해 모든 자동화 모델에 쉽게 통합할 수 있습니다. ASYST Versaport 9700-6107-01은 안전과 보안을 모두 고려하여 설계되었습니다. 다수의 안전 인터 록 (Safety Interlock), 비상 정지 장비, 과부하 시 자동 셧다운, 운영자 안전을위한 통합 에어 커튼 (Air Curtain) 이 특징입니다. 견고 한 구조 는 "웨이퍼 '손잡이 가 여전 히 정확 한" 웨이퍼' 처리 를 하면서 가장 혹독 한 제조 환경 에 맞설 수 있게 해 주며, 밀봉 된 인클로저 는 먼지 나 기타 오염 물질 로부터 "웨이퍼 '를 보호 하는 데 도움 이 된다. 요약하면, Versaport 9700-6107-01은 뛰어난 웨이퍼 처리 기능, 이동성 향상, 강력한 안전 및 보안 기능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 모든 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리 시스템에 이상적인 솔루션으로, 기존 자동화 시스템과의 통합이 용이하여 모든 산업용 제조 공정을 위한 편리하고 경제적인 솔루션입니다.
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