판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9245689

ASYST VersaPort 2200은 반도체 자동화 솔루션을 선도하는 ASYST Technologies가 설계 한 혁신적인 웨이퍼 핸들러입니다. 4 개의 셔틀 암을 갖춘 완전 자동화 된 플랫폼으로, 빠른 웨이퍼 처리량과 유연한 웨이퍼 처리가 가능합니다. VersaPort 2200 은 최고의 생산성, 정확성, 품질 요구 사항을 충족하는 한편, 웨이퍼 전송 작업을 위한 경제적인 자동화 기능을 제공합니다. ASYST VersaPort 2200에는 유연한 9 x 9 개의 모듈 식 웨이퍼 프레젠테이션 및 전송 장비가 있습니다. 200mm 및 300mm 웨이퍼와 raised 및 hard-to-reach 기판과 같은 비표준 구성을 모두 지원합니다. 교환 가능한 4 개의 셔틀 암은 구성 가능한 다양한 움직임을 제공합니다. 이를 통해 셔틀 암의 사용자 정의, 정확하고 정확한 작동이 가능하며, 베어 (처리되지 않은) 및 처리 된 웨이퍼 모두에 대한 높은 처리량을 달성할 수 있습니다. 이 시스템은 광범위한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업을 수행하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 장치에는 프로세스를 모니터링하는 실시간 데이터를 제공하는 통합 고급 웨이퍼 추적 장치 (Advanced Wafer Tracking Machine) 도 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 터치 스크린 HMI (TouchScreen HMI) 를 통해 운영자는 특정 요구에 맞게 매개변수를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 고급 시각 도구 (Advanced Vision Tool) 를 사용하여 전송 작업 중 웨이퍼 및 기판 정보를 검색, 검사, 확인할 수 있습니다. VersaPort 2200은 엄격한 청소실 요구 사항을 준수하도록 설계되었습니다. 업계 최고의 초저진동 설계 (Ultra-Low Vibration Design) 를 갖추고 있어 진동을 최소로 줄여 가장 연약한 웨이퍼도 안전하게 처리할 수 있습니다. 입자 오염을 최소화하기 위해 챔버 전체에 걸쳐 고정밀 공기 흐름을 제어하고 재순환 할 수있는 고급 공기 자산 (advanced air asset) 이 있습니다. ASYST VersaPort 2200은 강력하고 안정적이며 비용 효율적인 웨이퍼 처리기입니다. Wafer Transfer 작업에 가장 높은 생산성, 정확성 및 청결 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 생산개발시설이 웨이퍼 (wafer) 취급 요구를 충족시키는 완벽한 선택이다.