판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9230186

ASYST VersaPort 2200 (ASYST VersaPort 2200) 은 반도체 제작 프로세스와 최종 반도체 장치 생산에 필요한 테스트를 수행하는 장비 사이에 매끄럽고 완벽한 인터페이스를 제공하도록 설계된 정교한 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort 2200 은 반도체 제작 프로세스 내에서 여러 단계 간에 자동으로 웨이퍼 전송을 가능하게 합니다. ASYST VersaPort 2200은 여러 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. VersaPort 2200의 첫 번째 구성 요소는 캐리어이며, 이는 반도체 웨이퍼를 운반하기위한 모듈 식 프레임입니다. 이 캐리어에는 중심 핀이 장착되어 있으며, 자동 카세트, 핫 워킹 스테이션, 온도 스테이션 등과 같은 다른 모듈과 쉽게 결합 할 수있는 기능이 있습니다. 자동화 프로세스 동안, 캐리어는 로봇 암에 로드되며, 이 암은 웨이퍼를 캐리어에 언로드, 전송 및 재배치합니다. ASYST VersaPort 2200의 두 번째 구성 요소는 자동 카세트 로더입니다. 이 장치는 캐리어 안팎으로 빠르고 안정적으로 웨이퍼를 로드하도록 설계되었습니다. 자동 카세트 로더에는 두 가지 사전 구성된 카세트 유형이 있으며, 필요에 따라 수동으로 변경할 수 있습니다. 또한, 자동 카세트 로더는 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 수용할 수 있도록 슬롯 크기를 조정할 수 있으며, 한 번에 최대 500 개의 웨이퍼를 적재 할 수 있습니다. 세 번째 구성 요소는 핫 작업 스테이션 (hot working station) 으로, 제조 및 테스트를 위해 특정 온도에서 "핫 그립 (hot grip)" 및 웨이퍼 전송을 위해 설계되었습니다. 핫 워킹 스테이션 (Hot Working Station) 은 웨이퍼에 중점을 둔 고강도 레이저를 사용하여 빠르고 정확하며 안정적으로 전송합니다. 또한, 핫 워킹 스테이션의 온도 범위는 센티그레이드 (Centigrade) 0-1000 도이며, 온도가 다른 웨이퍼를 수용합니다. VersaPort 2200의 네 번째 구성 요소는 온도 스테이션 (temperature station) 으로, 제조 또는 테스트 프로세스 전에 웨이퍼 온도를 안정화하는 데 사용됩니다. 온도 스테이션은 두 개의 세그먼트, 온도 조절 챔버 및 냉각수 매니 폴드로 구성됩니다. 온도 조절 챔버 (temperate control chamber) 의 온도 범위는 -100에서 + 100 ° C이며, 이는 웨이퍼의 일정한 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 냉각제 매니 폴드는 극저온 냉각 (cryogenic cooling) 또는 열 처리 가스를 웨이퍼에 전달하여 정확한 웨이퍼 온도 설정을 가능하게하도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort 2200의 마지막 구성 요소는 로봇 모듈입니다. 이 모듈은 한 번에 1 ~ 12 개의 웨이퍼를 운반할 수 있으며, 이를 통해 최대 600 개의 웨이퍼 용량을 테스트할 수 있습니다. 로봇 모듈을 사용하면 VersaPort 2200의 자동 기능과 반도체 제조 프로세스 내에서 웨이퍼 (wafer) 를 이동 및 재배치할 수 있습니다. 또한, "로봇 '모듈 은 수송 과정 중 의 오류 를 탐지 하여 그 오류 를 보고 하여 추가 조치 를 취한다. 전반적으로 ASYST VersaPort 2200은 반도체 제작 프로세스를 최적화하는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort 2200은 온도에 따라 와퍼를 빠르고 정확하게 운송 할 수 있습니다. 또한 ASYST VersaPort 2200은 웨이퍼 테스트 및 제조의 처리량을 극대화하는 데 도움이됩니다.