판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9220701

ASYST VersaPort 2200은 자동 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 200, 50 개의 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 최대 500 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. VersaPort 2200은 정확한 웨이퍼 배치 제어를 제공하는 CAE Arm 메커니즘을 사용합니다. CAE 암에는 진공 픽업 헤드 (vacuum pickup head) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 운영자는 VersaPort의 슬롯에 개별 웨이퍼 슬라이스를 선택하고 정확하게 배치 할 수 있습니다. 또한 VersaPort는 웨이퍼 방향, 자동 정렬, 웨이퍼 지원 등 뛰어난 웨이퍼 처리 기능을 제공하도록 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 완전 자동화 된 카세트 로더 (cassette loader) 와 언로더 (unloader) 가 제공되며, 또 다른 큰 이점은 운영자가 처리를 위해 큰 배치를 신속하게 준비 할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200은 열 및 광학 박막 증착, 리소그래피, 습식 에칭, 건식 에칭, 수동화 및 웨이퍼 결합을 포함한 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 내장 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 피로를 줄이고 운영자의 운영을 단순화합니다. 마지막으로, VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 멸균 환경을 유지하기 위해 필요할 때 단단히 밀봉될 수 있으므로 청소실 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 안전 (Safety) 프로토콜과 호환되며, 100% 안전 준수는 통합 안전 기능으로 보장됩니다. 전반적으로 ASYST VersaPort 2200은 다양한 자동화 프로세스를 촉진하도록 설계된 고가용성 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 기능과 기능으로 인해 모든 웨이퍼 (Wafer) 구성 및 처리 과제에 적합한 선택이 가능합니다.