판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9220477

ASYST VersaPort 2200 Wafer Handler는 반도체 및 MEMS 테스트, 조립 및 웨이퍼 레벨 포장 작업에서 2 "및 3" 웨이퍼의 처리를 자동화하는 로봇 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 프로브 (wafer probing), 정렬, 매핑, 클리닝 (cleaning), 검사 및 테스트 등 다양한 웨이퍼 처리 작업을 지원하도록 설계되었으며, 강력한 초고진공 척 (vacuum chuck) 드라이브가 장착되어 있습니다. VersaPort는 기본 섀시, 프로세스 모듈 및 지능형 제어 장치로 구성됩니다. 기본 섀시는 기본 드라이브 머신 (main drive machine) 과 진공 척 (vacuum chuck) 이 포함되어 있으므로 모든 기계 기능의 기반을 제공합니다. 공정 모듈 (Process Module) 은 다양한 애플리케이션에 대해 서로 다른 Wafer-Handling 툴을 수용할 수 있으므로 유연성과 확장성을 더합니다. VersaPort 의 지능형 제어 자산은 GUI (Graphical User Interface) 를 활용하여 모델 설정 및 수정을 용이하게 합니다. VersaPort는 운영자를 염두에두고 설계되었습니다. 전체 기계식 인터 록 (interlock) 및 프로그래밍 가능한 안전 지대 장비를 포함한 수많은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 이 시스템은 IP65 수준의 금속 주택, HEPA 필터 및 가스 밀봉 로봇 암으로 설계 되었기 때문에 가혹한 생산 환경을 견딜 수 있습니다. 이 장치는 또한 통합 XYZ 축, XY 포지셔너, 선형 변환 단계 및 2 축 이동 기계를 사용하여 높은 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 단일 도구 내에서 웨이퍼 전송, 분리 (separation) 및 전달을 완전히 정밀하게 제어할 수 있습니다. VersaPort는 또한 생산성을 극대화하기 위해 설계되었습니다. 자산은 배치 당 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으며, 처리 속도는 시간당 최대 200 웨이퍼 (wafer) 입니다. 또한, 결정질 강성 축 (crystalline striffness axis) 은 모델의 속도와 정확도를 증가시키기 때문에 가속도가 높아집니다. 또한, 버사 포트 (VersaPort) 는 모듈식 디자인과 다양한 확장 가능한 구성 요소를 특징으로하여 낮은 설치 공간을 가지고 있습니다. 전반적으로, VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 반도체 및 MEMS 생산 산업을위한 혁신적인 웨이퍼 핸들러로, 높은 정확도, 처리량, 확장성 및 안전 기능을 갖춘 업계의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다.