판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9215383

ASYST VersaPort 2200은 반도체 생산에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 반자동 웨이퍼 핸들러는 최대 8 "웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 고급 다기능 설계를 통해 웨이퍼 전송이 가능하고 주기 시간이 단축됩니다. VersaPort 2200 은 Sorter 및 SMIF 애플리케이션에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하여 반도체 생산을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. ASYST VersaPort 2200에는 비전 카세트 모듈, 카세트-카세트 전송 모듈, 엘리베이터 모듈 등 4 개의 범용 전송 모듈이 있으며, 모두 웨이퍼 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 비전 카세트 (vision cassette) 모듈을 사용하면 핸들러가 카세트와 전사 챔버 사이를 이동하면서 웨이퍼를 정확하게 식별하고 배치할 수 있습니다. 카세트 대 카세트 (cassette-to-cassette) 전송 모듈은 한 번에 여러 웨이퍼를 효율적으로 운송 할 수있는 반면, 엘리베이터 모듈은 레벨 간 웨이퍼를 쉽게 운송 할 수 있습니다. VersaPort 2200은 또한 "공구가없는" 카세트 체인지아웃 및 자동 웨이퍼 정렬을 포함한 다양한 고급 기술을 갖추고 있으며, 둘 다 귀중한 시간을 절약하고 더 큰 웨이퍼 처리량을 허용합니다. 또한, 통합 암 (integrated arm) 컨트롤은 이동 및 웨이퍼 방향과 같은 특정 작업의 복잡성을 줄입니다. 견고한 스테인레스 스틸 구조로 제작 된 ASYST VersaPort 2200에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 자동 안전 도어 (Safety Door) 는 안전 처리를 보장하기 위해 모니터 제어 시스템이있는 인원의 존재를 정확하게 감지합니다. 이를 통해 인력을 보호하고 프로덕션 라인의 오류를 방지할 수 있으며, 다양한 고급 EOL (End-of-Wafer) 감지 기술을 통해 웨이퍼 전송 (Wafer Transfer) 프로세스가 문제 없이 완료될 수 있습니다. 마지막으로 VersaPort 2200은 효율성 극대화, 에너지 절약, 비용 절감을 위해 설계되었습니다. 스마트 전력 관리 (Smart Power Management) 기능은 에너지 절감을 극대화하는 반면, 소형 크기는 소형 생산 라인에 완벽하게 맞습니다. ASYST VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 손쉬운 운영 및 다양한 고급 기능을 갖춘 반자동 웨이퍼 처리 시스템 (semi-automated wafer handling system) 을 필요로 하는 운영 라인을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.