판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9215382

ID: 9215382
빈티지: 2000
Load port 2000 vintage.
ASYST VersaPort 2200은 반도체 산업의 생산 및 테스트 응용 프로그램을 자동화하기 위해 설계된 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 워크로드 감소, 처리 시간 단축, 결과 정확성 보장 등을 위해 설계되었습니다. VersaPort 2200에는 10 축 구성과 3 가지 주요 섹션 (기본, 범위 및 팔) 으로 구성된 바디가 있습니다. 최대 공구 무게 500 그램 (500 g) 의 총 도달 범위가 400mm이며, 광범위한 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다. 예를 들어, 로봇은 X-y 평면의 척 (chuck), 캐리어 (carrier) 또는 공구 (tool) 에 웨이퍼를 가져와 Z축을 통과한 다음 회전하여 클램프하는 동시에 프로세스 간격을 정확하게 제어할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200은 넓은 범위 외에도 뛰어난 반복 기능을 갖춘 고속 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 빠른 설정, 주기 시간 단축, 연산자의 학습 곡선 감소 등이 가능합니다. 로봇은 또한 단거리 및 장거리 작동을위한 모션 제어 패스 스루 자동 초점 장비를 자랑합니다. 또한 VersaPort 2200은 탁월한 유연성을 제공합니다. 개방형 아키텍처를 갖추고 있으며, 사내 또는 ASYST 파트너가 제공하는 다양한 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 과 통합될 수 있습니다. 그런 다음, 가장 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 지정 (customize) 하여 진정한 엔드 투 엔드 (end-to-end) 제조 솔루션을 제공합니다. 안전성 측면에서 ASYST VersaPort 2200에는 몇 가지 인상적인 기능이 있습니다. 여기에는 충돌 위험을 줄이기 위한 조절 가능한 도달 제한 (Adjustable Reach Limitation) 및 힘 제한 (Force Limiter) 및 비상 정지 기능이 포함됩니다. 또한 문이 열릴 때 웨이퍼 처리 작업을 억제하는 인클로저 안전 시스템 (enclosure safety system) 이 있습니다. 전반적으로, VersaPort 2200은 생산 및 테스트 작업을 자동화하기 위해 설계된 강력하고 강력한 웨이퍼 핸들러입니다. 빠른 주기, 고성능, 유연성을 통해 반도체 제조업체에 이상적인 선택이 됩니다. 넓은 범위, 동작 제어 패스 스루 장치, 조절 가능한 힘 제한 장치, 표준 안전 기능으로, 이 웨이퍼 처리 기는 전례없는 정확성과 신뢰성을 위해 설계되었습니다.
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