판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9211682
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ASYST VersaPort 2200은 중요 및 대용량 어플리케이션을 위해 설계된 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 이 솔루션은 생산과 대용량 (High Volume) 또는 중요한 웨이퍼 로드/언로드 요구 사항을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공하기 위한 것입니다. 버사 포트 2200 (VersaPort 2200) 은 고도의 고급 시스템으로, 높은 반복성과 정확성으로 복잡한 제품을 비용 효율적으로 생산할 수 있는 다기능 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 교환 가능한 웨이퍼 매거진, 인터페이스 암, 웨이퍼 트랜스포트 암, 웨이퍼 포지셔너 등 여러 구성 요소가 포함됩니다. 교환 가능한 웨이퍼 매거진은 200mm, 150mm 및 100mm 웨이퍼 카세트를 수용하여 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있도록 설계되었습니다. "매거진 '자체 는 앞뒤로 이동 할 수 있고, 위아래로 이동 할 수 있으며, 그것 을 로드 위치 (load location) 로부터 가까운 곳 이나 멀리 떨어진 곳 에서 사용 할 수 있게 해 준다. 인터페이스 암 (interface arm) 은 로드 및 언로드를 위해 안전한 일관성 있는 웨이퍼 포지셔닝 방법을 제공합니다. 이중 모터 기능이 있는 단일 암 (single arm) 으로 구성되며 x 축과 y 축에서 빠르고 정밀한 이동이 가능합니다. 또한 힌지 (hinge) 가 내장되어 있어 웨이퍼를 부드럽게 들어 올릴 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스포트 암 (wafer transport arm) 은 웨이퍼 매거진에서 웨이퍼 카세트를 옮겨 웨이퍼 포지셔너에 적재 할 책임이 있습니다. "카세트 '는 앞 과 뒤 의 이동 기능 을 모두 갖추고 있어서 양방향 으로 쉽게" 카세트' 를 움직 일 수 있다. 또한 "웨이퍼 '" 카세트' 가 다른 부분 과 접촉 할 가능성 을 최소화 하도록 설계 되었으므로 "웨이퍼 '를 더 잘 보호 해 준다. 마지막으로, 웨이퍼 포지셔너 (wafer positioner) 는 필요한 프로세스를 처리하는 동안 웨이퍼를 안전하게 보관하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '를 정확 하고 정확 하게 배치 하고, 그 과정 을 반복 하고 신뢰 할 수 있도록 할 수 있다. 전반적으로 ASYST VersaPort 2200은 대용량 웨이퍼 처리를 위한 포괄적이고 완벽한 솔루션을 제공합니다. 고급 다중 부품 (Advanced Multiple Component) 은 시스템 신뢰성이 높고 정확하며, 효율적인 설계를 통해 복잡하고 중요한 제품을 생산할 수 있습니다.
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