판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9211544

ASYST VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 반도체 업계의 웨이퍼 로드, 언로드 및 전송을 용이하게하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 이러한 설계를 통해 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업과 처리량 시간에 최적의 자동화 및 유연성을 구현할 수 있습니다. VersaPort 2200은 최대 200 개의 웨이퍼를 사용할 수 있으며 최대 20 개의 카세트에 저장됩니다. 통합 카메라와 비전 기반 인식 시스템 (Vision-based Recognition System) 은 웨이퍼를 정확하게 식별하고 정렬하고, 부품의 추적 가능하게 하며, 대용량 생산을 위해 도구 키팅을 최적화할 수 있습니다. "카메라 '는 또한 정확 한 취급 을 위해" 웨이퍼' 를 측정 할 수 있으며, 특정 한 "응용프로그램 '을 위해" 소프트웨어' 를 더욱 사용자 정의 할 수 있다. ASYST VersaPort 2200에는 2 개의 개별 로봇 암이 장착되어 있으며, 각 암에는 독립적으로 와퍼를 집어 넣을 수 있습니다. 웨이퍼 회전 (wafer rotation) 기능은 2 개의 로봇 암과 선형 테이블을 사용하여 웨이퍼를 중심에 두고 상대 위치를 제어하여 정확한 처리 및 처리를 보장합니다. 또한 VersaPort는 웨이퍼 테스트, CVD, 표면 준비, 프라임 펌핑 스테이션 등 다양한 대상 도구로 유연하고 자동화된 전송을 제공합니다. VersaPort 2200은 분당 최대 30 웨이퍼의 속도로 작동 할 수 있으며 대용량 생산을 위해 설계되었습니다. 견고하고 안전한 구조는 진동 (Vibration) 을 최소화하고 주기 (Cycle) 시간을 단축하는 반면, 범용 아키텍처는 기존 자동화 프레임에 쉽게 통합하고 모듈식 부품으로 인한 다운타임을 최소화할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200은 또한 통합 엔드 이펙터, 전용 거부 빈, 웨이퍼 로딩 옵션 (wafer loading options) 과 같은 다양한 추가 기능과 원격 진단 기능 (모두 다용성과 생산성 웨이퍼 핸들러) 을 제공합니다.