판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #9164509

ASYST VersaPort 2200은 가장 까다로운 웨이퍼 제조 처리 환경에서 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고성능, 멀티 사이트, 멀티 축 웨이퍼 핸들러입니다. 강력한 스테인레스 스틸 (Stainless-Steel) 프레임이 특징이며 혁신적인 로봇 기술을 사용하여 뛰어난 웨이퍼 제어와 유연성을 제공합니다. VersaPort 2200은 최고 수준의 성능을 제공하며, 최대 5초의 주기 시간을 제공하며, 최대 600mm 직경의 웨이퍼 크기를 처리할 수 있습니다. 이중그리퍼 웨이퍼 (dual-gripper wafer-handling) 시스템은 인근 구성 요소를 오염시킬 가능성을 최소화하여 사이트 간 안전하고 안정적인 웨이퍼 전송을 허용합니다. 중력 중심 (Center of gravity) 은 기계화 및 수동 작동을 허용하도록 설계되었으며, 중력 래치 (gravity latch) 는 작은 웨이퍼 직경에서도 안전한 처리를 제공합니다. ASYST VersaPort 2200은 회전 셔틀을 사용하여 2축 정렬 및 최적 입자 필터링 (Optimal Particle Filtering) 과 모듈식 설계 (Modular Design) 를 더 빠르게 수행할 수 있으며, 이를 통해 특정 요구에 맞는 맞춤형 웨이퍼 처리 솔루션이 가능합니다. 또한 통합된 비전 시스템 (vision system) 과 고급 안전 측정 (oversized wafer 감지를 위한 추가 스캐너, 비상 정지 스위치 인터페이스 포함) 이 있습니다. 또한, 지능형 소프트웨어 기능을 통해 쉽게 프로그래밍하고 운영 프로세스와 긴밀하게 통합할 수 있습니다. 버사 포트 2200 (VersaPort 2200) 은 업계에서 가장 발전된 액체 처리 시스템과 호환되므로 가장 복잡한 프로세스에 적합합니다. 또한 공장 통합 웨이퍼 클리닝 시스템 (옵션) 이 있으며, 여기에는 모든 자동 웨이퍼 클리닝 프로세스가 포함됩니다. 이러한 프로세스를 통해 최소한의 폐기물로 최대 200 개의 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 청소할 수 있습니다. 전반적으로 ASYST VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 반도체 업계에서 가장 까다로운 요구를 충족하도록 설계된 고급 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 모듈식 설계, 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System), 고속 주기 (High-Speed Cycle) 를 통해 모든 제작 환경에 이상적인 선택이 가능합니다.