판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #293766319

ASYST VersaPort 2200은 광범위한 반도체 어플리케이션에서 더 높은 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 반도체 제작 과정에서 초슬림 웨이퍼 (Ultra Thin Wafer) 처리를 자동화하는 탁월한 다용도, 속도 및 신뢰성을 제공합니다. VersaPort 2200은 섬세하고 얇은 웨이퍼의 안전한 전송을 제공하는 신뢰성, 오염 및 입자가 없는 환경을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 처리 환경에서 잔해 입자를 최소화하는 특수 공기 차폐 (air-shielding) 기능이 포함되어 있습니다. ASYST VersaPort 2200은 두께가 10 ~ 200um인 연약한 웨이퍼의 뒷면 처리에 적합합니다. 직경 200mm까지 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 정밀 배치 및 검출은 진공 헤드 및 인코더 시스템에 의해 제공됩니다. 또한 VersaPort 2200 에는 고속 로봇 엔드 이펙터가 포함되어 있어 로드 잠금 (load lock) 에서 프로세스 챔버 (process chamber) 로의 신속한 기판 로딩 및 언로드가 가능합니다. ASYST VersaPort 2200을 사용하면 생산 프로세스에 편리하게 통합할 수 있습니다. 소프트웨어 제어, 간편한 설치 및 공구가 필요 없는 유지 보수가 통합되어 있습니다. 이 제품은 오염, 운영 오류, 가동 중지 시간 (downtime) 을 줄일 수 있도록 설계된 견고하고 신뢰할 수 있는 핸들러입니다. VersaPort 2200은 다양한 반도체 응용 분야에 적합합니다. epi 증착, 에칭, CMP, epitaxy 및 질화물 증착과 같은 공정에서 매우 효과적입니다. 전반적으로 ASYST VersaPort 2200 (ASYST VersaPort 2200) 은 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 반도체 제작 프로세스의 성능과 정확성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 얇은 웨이퍼 처리를 위한 향상된 안전, 정밀, 제어 기능을 제공하며, 깨끗하고 오염 없는 환경을 제공합니다. VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 생산 프로세스에 고급, 유연성, 신뢰성 있는 핸들러가 필요한 모든 반도체 시설에 이상적인 선택입니다.