판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #293761417

ASYST VersaPort 2200
ID: 293761417
웨이퍼 크기: 8"
SMIF Loaders, 8" Shuttle Back plate.
ASYST VersaPort 2200은 반도체 산업의 효율성을 최적화하기 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 핸들러입니다. 이 신뢰성 있고 완전 자동화된 웨이퍼 전송 시스템은 한 번에 최대 50 개의 8 ", 12" 또는 200mm 웨이퍼를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 이 다용도 도구는 높은 처리량과 정확한 위치 지정 작업을 모두 수행할 수 있습니다. VersaPort 2200은 어레이 모듈 (웨이퍼 전송용) 과 로봇 어셈블리 (웨이퍼 매핑용) 의 두 부분으로 구성됩니다. 어레이 모듈은 진공 장치 (vacuum device) 와 정전기 처킹 (electrostatic chucking) 기술을 사용하여 쉽고 정확한 웨이퍼 전송을 촉진하는 반면, 로봇 어셈블리는 고급 비전 안내 시스템으로 촉진 된 XYZ 테이블을 사용하여 웨이퍼를 매핑합니다. 어레이 모듈 (Array Module) 과 로봇 어셈블리 (Robot Assembly) 는 모두 정확하고 반복 가능한 배치 및 방향 품질을 제공하기 위해 함께 작동하도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort 2200은 뛰어난 웨이퍼 처리 성능 외에도, 고급 안전 기능을 테이블에 제공합니다. 내장형 진공 잠금 시스템 (vacuum lock system) 은 웨이퍼를 안전하게 잠그면 웨이퍼 처리 오류를 방지하고, 내장형 안전 잠금 (Safety Lock) 메커니즘은 웨이퍼 매핑 프로세스 중 사고가 발생하지 않도록 합니다. VersaPort 2200 은 기존 소프트웨어/하드웨어와 완벽하게 호환되므로, 기존 공장 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 다용도 설계 (versatile design) 는 사용자 정의 및 프로그래밍을 용이하게 하며, 각 운영 라인의 개별 요구에 맞게 신속하게 구성할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200 (ASYST VersaPort 2200) 은 매우 안정적이고 에너지 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 현대 반도체 산업의 빠른 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 인터페이스와 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 쉽게 사용할 수 있으므로 연구 개발 실험실의 웨이퍼 처리 효율성을 향상시키는 이상적인 솔루션입니다.
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