판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #293748864

ASYST VersaPort 2200은 백엔드 반도체 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 장비입니다. 직경 2 ~ 6 인치 (50mm-150mm) 의 광범위한 웨이퍼 크기에서 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 설치, 자동 웨이퍼 식별, 전송, 로봇 이동을 통해 사용자를 안내하는 직관적인 터치 스크린 인터페이스가 특징입니다. VersaPort 2200에는 VR (Vacuum Robot) 과 MBR (Moving Board Robot) 이라는 두 개의 통합 로봇 장치가 장착되어 있습니다. 진공 로봇은 웨이퍼를 전송할 때 높은 반복성과 정확성을 보장합니다. VR 은 여러 웨이퍼 소스에 접속할 수 있는 대규모 입출력 (IO) 포트를 통합하여 다운타임을 최소화하면서 신속한 전송 시간을 제공합니다. MBR (Moving Board Robot) 은 3 중 진공 환경을 사용하여 적절한 웨이퍼 배치를 보장하고 고속 웨이퍼 전송을 활성화합니다. ASYST VersaPort 2200의 강력한 웨이퍼 처리 기술은 안전성과 신뢰성을 보장합니다. 웨이퍼 감지 및 잼 검출은 통합 라이트 커튼을 통해 제공됩니다. 또한, 정확한 로드 플레너 프로그래밍을 통해 시스템은 여러 웨이퍼 유형과 크기를 식별하고 처리 할 수 있습니다. Wafer Control Center 및 SmartRecipe Tool과 같은 소프트웨어 제어 옵션은 전체 작업을 정확하게 제어합니다. 이 고급 웨이퍼 처리 장치 (Advanced Wafer Handling Unit) 에는 사용자 편의를 위한 액세서리 (옵션) 도 포함되어 있습니다. 이러한 액세서리에는 여러 웨이퍼 저장 및 취급을위한 웨이퍼 캐리어 트레이 머신 (Wafer Carrier Tray Machine) 과 컨베이어 도구에 웨이퍼 캐리어를 보관하기위한 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 이 포함됩니다. 또한 VersaPort 2200 은 호환되는 구성요소 및 툴의 라이브러리를 지속적으로 확장하여 다운타임을 최소화하면서 여러 프로세스를 통합할 수 있게 해 줍니다 (영문). ASYST VersaPort 2200 (ASYST VersaPort 2200) 은 백엔드 프로세스의 엄격한 요구를 충족하도록 설계된 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리 자산입니다. 고급 자동화 및 제어 기능으로 원활한 작동, 안정적인 웨이퍼 전송이 가능합니다. VersaPort 2200은 직관적인 사용자 인터페이스, 조정 가능한 액세서리 옵션, 호환되는 구성 요소 라이브러리 (라이브러리) 를 통해 가장 까다로운 반도체 생산 환경에 적합합니다.