판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 #293727855

ASYST VersaPort 2200은 300mm 및 200mm 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고속 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 기능과 기능을 제공하여 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 지원합니다. VersaPort 2200에는 클린 룸 및 프로세스 자동화 애플리케이션에 최적화된 6축 SCARA (Selective Compliance Assembly Robot Arm) 로봇 암이 있습니다. 로봇 암은 ± 5 미크론의 반복 가능성으로 최대 2300 mm/sec의 속도로 움직이며 반도체 제작 프로세스에 대한 처리량이 크게 증가 할 수 있습니다. 완전 프로그래밍 가능한 모션 제어 플랫폼을 사용하면 모션 매개변수와 시퀀싱 사이의 긴밀한 조정을 허용합니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 장비는 웨이퍼, 카세트, 캐리어 등 다양한 구성 요소를 정확하게 찾아서 식별합니다. 카세트/캐리어 위치는 로봇 암 (robot arm) 의 메모리 내에서 미리 정의되어 있어 수동 로드가 필요하지 않습니다. ASYST VersaPort 2200은 직관적인 웨이퍼 처리 작업 흐름을 제공하며, 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 구성으로 운영자의 효율성을 향상시킵니다. 이 장치에는 유해 상황을 감지하고 적절한 복구 조치를 시작하는 장치 (unit operations) 와 조건을 모니터링하는 안전 시스템이 내장되어 있습니다. 이 장치의 개방형 아키텍처는 다양한 반도체 프런트엔드 (FE) 및 백엔드 장비와 손쉽게 통합할 수 있습니다. 향후 운영 프로세스 요구 사항에 대한 호환성을 보장하기 위해 ASYST는 VersaPort 2200을 사용자 정의하는 다양한 소프트웨어 옵션을 제공합니다. 여기에는 표준 컴퓨터에서 쉽게 사용할 수 있는 새로운 GUI 인터페이스가 포함됩니다. 이 기계는 웨이퍼 처리 및 처리에 대한 SEMI E94-9342 표준을 준수합니다. 또한 ASYST VersaPort 2200은 RoHS를 준수합니다. VersaPort 2200은 반도체 프로세스 자동화를 위한 유연하고 안정적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 강력한 모션 컨트롤 플랫폼, 통합 비전 툴, 직관적인 사용자 인터페이스, 개방형 아키텍처 (Open Architecture) 를 통해 프로세스 자동화 엔지니어가 처리량을 크게 향상시킬 수 있습니다. 사용자 친화적 인 설계, 통합 안전 자산 및 SEMI E94-9342 표준과의 호환성을 통해 반도체 웨이퍼 처리 작업을 위한 이상적인 선택입니다.