판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 VPO #9392803

ASYST VersaPort 2200 VPO는 최대 300mm (12 ") 직경의 웨이퍼를 처리하는 등 까다로운 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. VersaPort 2200 VPO (VersaPort 2200 VPO) 는 로봇에 통합된 풀 사이즈의 웨이퍼 전송 장비로, 광범위한 운영 환경에서 최대의 유연성과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. ASYST VersaPort 2200 VPO는 고급 모션 컨트롤 기술과 신뢰할 수있는 로봇 공학 및 유능한 웨이퍼 처리 환경을 결합하여 반도체 웨이퍼 제작 프로세스를 위해 유연하고 효율적인 플랫폼을 제공합니다. VersaPort 2200 VPO는 호환되는 직경 25mm (1 ") 내에서 전체 300mm (12") 까지 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 급지대 (wafer feeder) 는 기계에 균일 한 높이로 배치되어 있어 웨이퍼 (wafer) 전송을 위한 일관된 환경을 제공합니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 를 안전 하게 잡기 위해 진공 전사 "척 '을 사용 하는 것 을 포함 하여 빠르고 믿을 만한" 웨이퍼' 전사 작업 을 할 수 있는 여러 가지 기능 으로 설계 되었다. ASYST VersaPort 2200 VPO는 또한 독특한 로봇 동작 제어 기술을 사용하여 다양한 방향으로 부드럽고 정확한 움직임을 제공합니다. 이를 통해 로봇은 전송 (transfer) 작업을 위해 최적의 위치에 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 배치할 수 있으며, 사용자는 해당 웨이퍼에 대한 일관된 고성능 처리를 제공합니다. 이 장치는 또한 안전하고 안전한 환경에서 대용량 웨이퍼 (wafer) 를 보유할 수있는 로봇 통합 자동 스톡커 (stocker) 를 갖추고 있습니다. 이 "스토커 '는 다양 한" 웨이퍼' 크기 를 저장 할 수 있어서 기계 의 작동 에 있어서 고도 의 유연성 을 보장 해 준다. 고급 로봇 동작 제어 기능으로, VersaPort 2200 VPO는 정밀 반도체 프로세스를 위해 안정적이고 고성능 웨이퍼 처리 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구의 일관성과 다양성은 정밀 웨이퍼 (wafer) 처리가 필요한 다양한 반도체 관련 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.