판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 STD #9043893

ASYST VersaPort 2200 STD는 높은 정밀 로봇 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 25mm 높이의 카세트 캐리어에서 2 "최대 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 자동화 플랫폼을 사용하면 프로세스 셀 내에서 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 수 있는 사용자 정의 워크플로를 생성할 수 있습니다. 고급 로봇 동작 제어 기술을 통해 최대 0.35m/sec의 속도로 +/- 0.03 mm의 웨이퍼 중심 정확도를 허용합니다. "run on short" 기능이 내장되어 있어 로봇 동작 경로를 빠르게 조정하여 짧은 웨이퍼 (wafer) 또는 카세트 크기 오류를 보완할 수 있습니다. 이렇게 하면 작업 중에 웨이퍼 전송이 성공적으로 수행됩니다. 안정적이고 유지 보수적인 설계는 정확하고 반복 가능한 로봇 동작 (robotic motion) 과 최소한의 다운타임을 보장합니다. 안전 연동물 (Safety Interlock) 은 모든 부품 부품에 내장되어 있어 사용자 및 장비를 오염으로부터 보호합니다. "가스 '제거 장치 (옵션) 는 적재 및 언로드 중 에 보호" 가스' 장벽 을 제공 함 으로써 청정실 환경 을 유지 하는 데 도움 이 된다. VersaPort 2200 의 독보적인 설계를 통해 wafer fab 환경에서 가장 작은 설치 공간에서 작동할 수 있습니다. 여기에는 2 개의 동력 선형 로봇 팔, 웨이퍼 카트 및 지원 프레임이 포함됩니다. 두 개의 "로봇 '암은 x축과 y축 모두에서 선형 레일을 따라 동시에 움직입니다. 데이터 로깅 및 추적 기능은 옵션인 Data Acquisition Interface 에서도 제공됩니다. 높은 수준의 성능을 보장하기 위해 VersaPort 2200 (VersaPort 2200) 은 유지 보수 비용을 절감하면서 빠르고 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 이 "펌프 '는 진공 결합 을 위한 공압" 에너지' 와 믿을 만한 "웨이퍼 '를 중심 으로 하고 취급 하기 위한" 와퍼' 를 공급 해 준다. 모든 부품은 먼지와 물 보호 (water protection) 기능을 통해 혹독한 환경에서 안정적으로 작동할 수 있습니다. 요약하면, VersaPort 2200 STD는 고급 로봇 모션 제어 기술 및 내장 안전 기능을 갖춘 고성능 웨이퍼 처리 시스템입니다. 기존 Fab 프로세스/장비와의 상호 운용성을 통해 제품 출시 시간을 단축하고 TCO (총 소유 비용) 를 절감할 수 있습니다. 높은 웨이퍼 중심 정확도, 안정적인 작동 및 긴 수명 설계로 인해 VersaPort 2200은 웨이퍼 제조에 이상적인 선택입니다.