판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #9390211

ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 자동 웨이퍼 테스트를 위해 설계된 차세대 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 여러 테스트 스테이션 간에 웨이퍼를 이동하는 효율적인 방법을 제공하며, 테스트 중에 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 셔틀은 신뢰성이 높으며, 다양한 웨이퍼 직경과 두께에 대한 큰 클램핑 범위가 있습니다. 셔틀은 또한 웨이퍼를 위치로 정확하게 움직이도록 조정 가능한 속도 수준을 특징으로합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 단계 간 웨이퍼를 자동으로 이동하도록 설계된 전동 웨이퍼 트레일러 (motorized wafer trailer) 를 포함하여 여러 구성 요소로 구성됩니다. 트레일러는 고해상도 정밀 위치 시스템을 사용하여 웨이퍼를 1/14 도의 정확도에 맞게 정렬합니다. 셔틀은 또한 이중 축 고속 회전 (Dual-Axis High-Speed Rotation) 모듈을 사용하여 수동 설정 변경 또는 재설정 없이 여러 테스트 설정 사이에서 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 피드 시스템은 접촉하지 않은 실린더를 사용하여 손상되지 않고 부드럽고 정확하게 웨이퍼를 구동합니다. VersaPort 2200 셔틀은 웨이퍼의 손상을 방지하기 위해 향상된 안전 기능으로 설계되었습니다. 기본 (Bot-of-alignment) 웨이퍼를 자동으로 감지할 수 있고, 필요한 경우 손상이 발생하기 전에 웨이퍼 이동을 중지할 수 있는 안전 메커니즘이 내장되어 있습니다. 또한 웨이퍼가 단단히 고정되도록 이중 암 진공 도구 (dual-arm vacuum tool) 가 있습니다. 모든 움직이는 부품에는 충격 흡수 장치 (shock absorber) 가 장착되어 있어 포주 동작 (jerky motion) 에서 웨이퍼로 인한 손상을 줄입니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 임베디드 로거 (Embedded Logger), 대기 공기 챔버 (Standby Air Chamber), 여러 방향으로 테스트할 수 있는 스테이지 및 프로그래밍 가능한 도구 홀더 (Holder) 와 같은 다양한 옵션이 장착될 수도 있습니다. 이러한 옵션은 다양한 테스트 응용 프로그램을 지원하는 데 필요한 다양성을 만듭니다. 요약하면, ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 자동 웨이퍼 핸들러로, 테스트 중 최적의 정렬을 보장하여 처리 시간을 최소화하고 웨이퍼 피해를 줄여줍니다. 다양한 안전 기능 (Safety Features) 과 맞춤형 옵션을 통해 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 테스트할 수 있습니다.