판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #9043874

ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 프로세스 또는 저장 위치로 2 ~ 8 인치 웨이퍼 기판을 이전하도록 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 혁신적인 설계는 이동하는 동안 웨이퍼의 무결성을 보호하는 데 도움이 되고, 웨이퍼 (Wafer) 스토리지 랙에 대한 탁월한 액세스를 제공합니다. 이 시스템의 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 프로세스 웨이퍼 (Wafer) 프로그램 및 작업 설정을 쉽게 액세스할 수 있습니다. VersaPort 2200은 시퀀싱 된 기울기 기술 (tilt technology) 과 서보 모션 (servo motion) 으로 설계되어 웨이퍼 부품의 정확한 부품 위치와 보호를 지원합니다. VersaPort의 셔틀 암 (Shuttle Arm) 에는 로우 틸트 (low-tilt) 장치가 있으며, 이는 웨퍼 에지 위치를 준수하며 부품보다 우수한 보호 기능을 제공합니다. 셔틀 암의 독특한 디자인은 또한 진동을 감소시켜 이동 및 적재 과정에서 활성 (active) 및 고감도 웨이퍼 (wafer) 를 보호합니다. VersaPort 2200은 사용자에게 광범위한 호환성을 제공합니다. 셔틀의 디자인은 사용자 친화적 인 작동과 SMIF 포드뿐만 아니라 웨이퍼 셔틀 뚜껑을 수락 할 수있는 기능을 제공합니다. ASYST SmartChip Ready Software (ASYST SmartChip Ready Software) 는 시스템의 기능과 구성에 대한 지능적인 통신과 통신을 제공하여 프로세스 프로그램의 설치 속도를 높입니다. VersaPort 2200 Shuttle은 또한 Pro-Activity Module (Pro-Activity Module) 과 함께 웨이퍼 부품에 대한 탁월한 안전성을 제공하며, 정교한 알고리즘을 사용하여 안전 프로토콜이 정기적으로 관찰되고 관찰됩니다. 또한 Pro-Activity Module (Pro-Activity Module) 은 프로세스 웨이퍼 높이와 프로그램 위치의 불일치를 방지하는 등 다양한 웨이퍼 보호 기능을 제공합니다. 또한 VersaPort 2200 은 이동식 로드 포트 (removable load port) 와 Accumulator 를 통해 탁월한 유연성을 제공하여 프로세스 유연성 또는 이동성 요구를 충족하기 위해 다른 시스템과 연결/연결 끊을 수 있습니다. [누적기] 는 온도, 기울기, 습도, 진동 등 웨이퍼 이동의 모든 측면을 모니터링한 다음 그에 따라 조정할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 혁신적인 웨이퍼 처리 툴로, 웨이퍼에 대한 탁월한 정확성, 유연성 및 안전성을 제공합니다. 낮은 기울기 기술과 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 웨이퍼 기판을 빠르고 철저하게 전송할 수 있으며, Pro-Activity Module (Pro-Activity Module) 과 Accumulators (Accumulators) 는 웨이퍼 환경 및 방향을 안전하고 일관되게 제어할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 무결성 (wafer integrity) 과 처리 (handling) 의 뛰어난 보호 및 신뢰성을 제공하는 이상적인 솔루션입니다.