판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #293748971
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ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 반도체 산업에 사용되는 완전 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. "와퍼 (Wafer) '를 신속하게 수집하고 처리할 수 있는 기능을 갖춘 높은 처리량 (Throughput) 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 모두 깨끗하고 손상되지 않은 상태로 유지합니다. VersaPort 2200 셔틀은 스마트 기계식 암으로 구성되며, x, y 및 z 축을 따라 정확한 이동이 가능하여 3D 동작 기능을 만들 수 있습니다. 팔 이 필요 할 때 에만 움직 이도록 설계 되어 "웨이퍼 '가 깨끗 하고 손상 을 입지 않도록 한다. 이 시스템에는 또한 웨이퍼 리시버 (Wafer Receiver) 와 교환기 스테이션 (Exchanger Station) 이 포함되어 있으며, 다른 카세트와 챔버 사이에서 웨이퍼를 빠르게 이동할 수 있습니다. ASYST VersaPort 2200 Shuttle 에는 처리 주기 전반에 걸쳐 효율적인 워크플로우를 보장하도록 설계된 고급 소프트웨어 기능이 있습니다. 최대 4 개의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 처리할 수 있으며, 여러 파트너 시스템과 통신하여 반도체 프로세스의 다른 장비를 인터페이스, 제어할 수 있습니다. 디지털 카메라와 통합된 고유한 비전 유닛 (vision unit) 은 유형과 두께를 기반으로 웨이퍼를 감지한 다음 프로세서 로딩 (loading) 및 작동 (operation) 을 적절히 조정합니다. VersaPort 2200 Shuttle에는 소음 감쇠 및 진동 방지 구성 요소가 장착되어 있어 모든 환경에서 자동 작동이 보장됩니다. 이 기계는 액세스하기가 어렵도록 설계되었으며 특수 핀 (PIN) 코드로만 열 수 있습니다. 이렇게 하면 공구에 대한 무단 간섭이 방지됩니다. ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 매우 안정적이며, 청결에 대한 엄격한 산업 요구 사항을 충족하면서 일관된 고품질 결과를 제공합니다. 이 자산은 처리 속도가 매우 빠르며, 입자 오염 수준이 낮으며, 유연성과 확장성이 뛰어나므로, 모든 반도체 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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