판매용 중고 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #293642307
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ASYST VersaPort 2200 Shuttle은 반도체 산업을 위해 설계된 고급 웨이퍼 취급 장비입니다. 얇고 연약한 웨이퍼를 손상시키지 않고 처리할 수 있는 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 웨이퍼 이동의 안정성과 정밀도를 극대화하는 넓은 설치 공간 (wide footprint) 으로 구성됩니다. 버사 포트 2200 (VersaPort 2200) 에는 섬세한 특성을 유지하면서 빠른 속도와 정확도로 웨이퍼를 제공 할 수있는 셔틀 디자인이 있습니다. 브러시리스 (brushless) 서보 모터로 구동되는 6 축 로봇 메커니즘이 있으며, 이는 웨이퍼 처리에서 정확한 움직임을 제공합니다. 또한 다양한 각도와 깊이에서 웨이퍼를 집어 들을 수있는 다중 구역 진공 그립 (multiple-zone vacuum grip) 장치를 갖추고 있습니다. VersaPort 2200에는 기계와의 상호 작용을 단순화하는 직관적이고 다국어 터치스크린 사용자 인터페이스가 있습니다. 포인트 앤 클릭 방식의 액세스 권한이 있는 오류 분석, 메모리 설정 등의 툴이 포함되어 있습니다. 또한 내장형 리튬 이온 배터리 백업 도구도 제공합니다. 에셋은 유연하게 설계되어 가변 높이 (variable heights) 와 각도 (angle) 에서 웨이퍼 (wafer) 배치를 허용합니다. 또한 단일 작업에서 여러 웨이퍼를 정확하게 전송할 수 있으며, 최대 300mm (직경) 의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 부하 용량은 최대 8 파운드이며, 많은 양의 재료를 운반 할 수 있습니다. 이 장치는 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 모든 구성 요소를 전면 또는 측면에서 쉽게 액세스할 수 있습니다. 노출 센서, 산화물, 질화물 유리 검출기, 압력 센서 등 다양한 센서와 호환됩니다. 또한, VersaPort 2200은 개별 사용자의 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. VersaPort 2200 셔틀은 다양하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 모델입니다. 새로운 웨이퍼 처리 (wafer handling) 를 위해 설계된 다양한 기능을 자랑하는 견고한 구성과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해, 생산성 중심의 프로세스를 위한 안정적이고 효율적인 솔루션이 필요한 제조업체에 적합한 솔루션입니다.
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