판매용 중고 ASYST UTV-F2620W / CS-7100 #9239657

ASYST UTV-F2620W / CS-7100
ID: 9239657
Vacuum transfer robot.
ASYST UTV-F2620W/CS-7100은 고급 반도체 장치의 제조 및 테스트를 지원하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치에는 고급 웨이퍼 로딩 (advanced wafer loading) 기술이 적용되어 핸들러의 웨이퍼가 매우 정확하게 배치됩니다. 동작 제어 장비는 정밀하게 제작 된 DC 브러시리스 모터 (brushless motor) 와 선형 액추에이터 드라이브 (actuator drive) 를 사용하여 웨이퍼의 부드럽고 정확한 움직임을 달성합니다. 최대 속도 0.5 m/s의 UTV-F2620W/CS-7100은 핸들러와 인접한 테스트 시스템 사이에서 웨이퍼를 빠르게 이동할 수 있습니다. ASYST UTV-F2620W/CS-7100에는 온도 및 습도 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 이 장치는 작동 중 처리기 내부의 온도 및 습도 변화를 방지하는 데 도움이됩니다. 이것은 저항성 및 STI (Shallow Trench Isolation) 와 같은 웨이퍼 특성의 변동을 제어하는 데 중요합니다. 웨이퍼 핸들러는 매우 정확하며, 임의의 방향으로 0.01mm 이내에 웨이퍼를 배치 할 수 있습니다. 이 정밀도는 다양한 테스트에서 반복 가능한 테스트 결과를 보장하는 데 중요합니다. 또한 UTV-F2620W/CS-7100 의 높은 정밀도는 핸들러를 재보정하거나 재프로그램할 필요 없이 빠른 제품 전환을 가능하게 합니다. ASYST UTV-F2620W/CS-7100 웨이퍼 핸들러는 사용 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 대량 교환 가능한 구성 요소를 갖춘 모듈식 (Modular) 설계를 통해 손쉬운 수리 및 유지 보수 작업을 수행할 수 있습니다. 간편하고 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 핸들러를 보다 쉽게 제어할 수 있으며, 이를 통해 빠른 (rapid) 프로그램 설정과 여러 제품 변경 등이 가능합니다. UTV-F2620W/CS-7100은 다양한 wafer 유형과 크기를 처리할 수 있을 정도로 다양하고 내구성이 뛰어납니다. 핸들러는 평면 패널과 3D 웨이퍼를 모두 수용할 수 있으며, 최대 크기는 직경 150mm입니다. 이 장치는 다양한 프로세스 장비 (process equipment) 및 테스트 시스템 (test system) 과도 호환되므로 모든 운영 제품군에 쉽게 통합할 수 있습니다. 안전과 관련하여 ASYST UTV-F2620W/CS-7100은 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 안전 (Safety) 기능에는 잠재적 인 오정 및 이동 중 과속을 감지하는 안전 스위치 (Safety Switch) 와 비상 상황에서 기계를 빠르게 종료하는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함됩니다. 핸들러의 안전 차폐는 SEMI 안전 표준을 준수합니다. 전반적으로, UTV-F2620W/CS-7100은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러로, 현대 반도체 산업의 매우 정확한 요구를 지원하기 위해 설계되었습니다. 고급 기능, 다용도 설계, 사용 편의성 및 유지 보수 (maintenance of use and maintenance) 가 모두 결합되어 반도체 관련 애플리케이션을위한 포괄적인 솔루션으로 자리잡았습니다.
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