판매용 중고 ASYST UTMF 5000 #9055564

ASYST UTMF 5000 웨이퍼 핸들러는 다양한 산업에서 사용하기 위해 개발 된 다목적, 컴퓨터 제어 웨이퍼 처리 장비입니다. 자동 웨이퍼 처리 작업 (예: 웨이퍼 로드, 언로드, 웨이퍼 정렬) 을 위한 신뢰할 수 있는 고성능 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 빈, 조절 가능한 기울기 프레임, 싱글 암 로봇, 조정 가능한 리프트, 통합 제어 장치가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 빈은 최대 5 개의 표준 200mm 웨이퍼를 유지하도록 설계되어 대용량 처리량을 제공합니다. 조절 가능한 기울기 (tilt) 프레임은로드 또는 처리 중에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정위하도록 설계되었으며, 단일 암 (single-arm) 로봇은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 이동을 제공합니다. 조정 가능한 리프트는 다양한 리프트 각도를 제공하여 로드/언로드 주기 동안 최대 웨이퍼 접촉을 보장합니다. 통합 제어 시스템은 사용자 친화적이며 실시간 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. 최대 4 개의 웨이퍼 처리 시스템을 제어 할 수 있으며, 사용자 프로그래밍 가능한 인터페이스, 자동 오류 수정, 이더넷 인터페이스 등의 고급 기능을 제공합니다. 이 도구에는 웨이퍼 로드 플랫폼 (wafer loading platform) 의 동작 및 위치 모니터링, 환경 온도 및 습도 모니터링을위한 다양한 센서가 있습니다. UTMF 5000 (UTMF 5000) 은 완벽한 안전 기능을 제공하며 인터록 (interlock) 자산을 사용하여 로봇 암이 예기치 않게 물체에 충돌하거나 손상되지 않도록 합니다. 그것 은 내구성 있는 재료 로 만들어졌으며, 여러 해 동안 계속 사용 하도록 설계 되었다. 마지막으로, 이 모델에는 다양한 모션 진단 (motion diagnostics) 과 성능 레코더 (performance recorder) 가 포함되어 있어 장비 최적화 및 문제 해결이 가능합니다.