판매용 중고 ASYST SPC 01CS #9301460

ASYST SPC 01CS 웨이퍼 핸들러 (ASYST SPC 01CS Wafer Handler) 는 자동화된 반자동 웨이퍼 처리 응용 프로그램의 처리량과 성능을 최대화하도록 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 처리 장치입니다. SPC 01CS 는 최대 300mm 의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 저온과 고온의 작동 환경 모두에서 똑같이 효과적입니다. 이 장치는 내구성이 뛰어난 저유지 스테인레스 (stainless) 섀시로 구성되어 있으며, 가장 견고한 생산 환경에서도 내구성과 내식성을 최대한으로 제공합니다. 이 장비는 프로그래밍 가능한 2 축 컨트롤러와 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 시스템의 움직임을 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. ASYST SPC 01CS는 2 개의 독립적 인 다이 충돌 감지 시스템을 갖추고 있습니다. 첫 번째 장치는 웨이퍼 정렬기 (wafer sorter tooling) 의 충돌을 감지하기 위해 웨이퍼 이동을 모니터링합니다. 두 번째 머신은 웨이퍼 정렬 (wafer sorter) 정렬 패치를 추적하여 웨이퍼 정렬과 정렬 (sorter) 공구 간의 불일치를 감지합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 밀어낸 알루미늄 테이블 설계를 사용하여 웨이퍼와 테이블 서피스 사이의 최소 열 전달을 제공합니다. 테이블은 모터 구동 (motor-driven) 으로, 슬리피지 및 기타 열 전달원을 최소화하면서 웨이퍼의 부드럽고 안정적인 이동을 보장합니다. 또한, 이 표에는 열 제어 기능이 있으며, SPC 01CS에서 내열성 부품을 안전하게 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 진공 모니터링 도구 (vacuum monitoring tool) 가 있습니다. 진공 노즐의 폴리 이미 드 필름 (polyimide film) 시트를 사용하여 진공 봉인의 불규칙성을 감지합니다. 이렇게 하면 전송 중 웨이퍼가 최적으로 고정됩니다. 마지막으로, 웨이퍼 핸들러에는 정교한 안전 자산이 장착되어 여러 수준의 이중화를 제공합니다. 이 모델은 비상 정지 회로 (Emergency Stop Circuit) 와 고용량 장비 모니터를 통해 모든 안전 기능이 올바르게 작동하는지 확인합니다. ASYST SPC 01CS (ASYST SPC 01CS) 는 뛰어난 웨이퍼 핸들러로, 다양한 웨이퍼 처리 어플리케이션에서 가동 시간과 성능을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 내구성이 뛰어나고, 직관적인 제어 기능을 통해 가장 까다로운 환경에서 안정성과 안전성을 위한 최적의 선택이 됩니다 (영문).