판매용 중고 ASYST SP1MG0100 #9278792

ID: 9278792
Load port P/N: 4002-6633-01 Motorized linear positioner.
ASYST SP1MG0100 (ASYST SP1MG0100) 은 실리콘 및 기타 웨이퍼 재료의 전송, 테스트 및 절단을 위해 설계된 다기능 자동화 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러 (Handler) 는 여러 단계로 구성된 컴팩트하고 모듈식 (Modular) 설계를 통해 생산의 효율적인 상호 교환성과 유연성을 제공합니다. 핸들러 (handler) 는 장비의 입력과 출력 사이에 웨이퍼를 운반하는 데 사용되는 모든 메커니즘을 포함하는 메인 캐리 스테이지 (main carry stage) 를 갖습니다. 또한, 핸들러에는 웨이퍼 표면에서 이물질을 청소하고 제거하기위한 클램프 (clamp) 및 스왑 (swab) 단계가 있습니다. SP1MG0100 또한 테스트/컷 스테이지가 장착되어 있으며, 이 스테이지에는 힘 감지 플랫폼에 장착 된 블레이드 2 개가 있습니다. 이 조합을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 에서 개별 주사위를 최대 25 um 정밀도로 정밀하게 절단할 수 있습니다. 손잡이는 또한 개별 다이 조각에 대한 저항성 테스트 및 스캐닝 전자 현미경을 수행 할 수 있습니다. "핸들러 '는 또한 서로 다른" 웨이퍼' 재료 에 대해 독립적 으로 제어 하고 교정 할 수 있는 진공 "시스템 '을 갖추고 있다. 이 진공 장치 는 "웨이퍼 '가 생산 과정 을 통하여" 클램핑' 진공 "컵 '에 굳게 붙어 있도록 설계 되었다. 처리기는 또한 웨이퍼 리프팅 머신 (wafer lifting machine) 과 함께 제공되어 웨이퍼를 쉽게 포지셔닝합니다. 마지막으로 ASYST SP1MG0100은 고급 로봇 및 비전 추적 기술을 사용하여 웨이퍼 처리량을 최대화합니다. 이 툴을 사용하면 웨이퍼 (wafer) 를 신속하게 전송하고 조작할 수 있으며, 머신 러닝 (machine learning) 기능을 통해 이전 운영 주기에서 취합한 데이터를 기반으로 운영 (production) 을 더욱 최적화할 수 있습니다. 또한, 처리기의 모듈식 디자인은 공간과 비용 효율을 모두 제공합니다. 요약하면, SP1MG0100은 실리콘 및 기타 웨이퍼 재료의 테스트 및 절단을 위해 설계된 고급의 다기능 웨이퍼 핸들러입니다. 메인 캐리 스테이지, 클램프 및 스왑 스테이지, 테스트/컷 스테이지, 웨이퍼 리프팅 에셋, 고급 로봇, 비전 추적 기술 등 다양한 기능을 통해 폐기물을 최소화하면서 최적의 생산을 달성 할 수 있습니다. 따라서 ASYST SP1MG0100은 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 이상적인 옵션입니다.
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