판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #9255535

ASYST SMIF-300FL은 반도체 제조 시설에서 고급 사용을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 다양한 기판 및 재료를 처리하도록 설계된 구성 요소로, 정밀 작동을 위해 제작되었습니다. 2 단계 장비로, 처리 스테이션까지 안전하고 정확하게 웨이퍼를 운송합니다. 300FL의 주요 구성 요소는 수직 리프트 (vertical lift) 로, 원하는 높이와 수송 수준에 웨이퍼를 정확하게 배치하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 리프트는 서보 모터 (servo motor) 에 의해 구동되며 부드러운 작동을 보장하기 위해 독특한 볼 스크류 메커니즘에 의해 지원됩니다. 게다가, "레일 '은" 웨이퍼' 가 수송 중 외부 진동 의 영향 을 받지 않도록 진동 격리 를 제공 하도록 설계 되었다. 300FL은 또한 통행 중 우발적 인 접촉으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 맞춤형 플랫폼 안전 가드 (Safety Guard) 를 갖추고 있습니다. 이 가드는 일련의 센서와 근접 스위치를 사용하여 동작 (motion) 을 감지하고 파퍼 핸들러 (Wafer Handler) 와 관련된 작업을 자동으로 종료하여 손상을 방지합니다. ASYST SMIF 300FL에는 안전하고 효율적인 작동을 보장하는 몇 가지 추가 기능이 있습니다. 예를 들어, 트랙 정렬을 모터 드라이브 샤프트 (motor drive shafts) 에서 분리하여 웨이퍼가 모터 모션이나 토크의 영향을 받지 않도록 프로그래밍할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다른 캐리어 (carrier) 또는 공구와 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 사이의 웨이퍼를 효율적으로 처리하기 위해 양의 공기 압력을 사용하는 통합 진공 및 공기 장치를 갖추고 있습니다. 또한 SMIF 300 FL은 정교한 데이터 제어 머신 (data control machine) 을 통해 처리 시간 내내 웨이퍼 위치를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 궤적을 지속적으로 제어할 수 있으며, 시간이 지남에 따라 처리 매개변수를 수정하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로 SMIF-300FL은 반도체 제조 시설을 위해 설계된 고급, 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러입니다. 정밀 전동 리프트, 맞춤형 안전 가드, 강력한 데이터 제어 툴이 특징입니다. 이러한 기능을 결합하면, 처리 스테이션 간의 웨이퍼를 정확하고, 안전하며, 효율적으로 처리할 수 있습니다.