판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #9255419

ASYST SMIF-300FL은 반도체 제조 공장에서 반도체 웨이퍼 처리를 자동화하는 데 사용되는 생산 레벨 웨이퍼 핸들러입니다. 로우 프로파일 선형 디자인이 특징이며, 진공 스티킹을 최소화하면서 뛰어난 웨이퍼 투 웨이퍼 반복성을 제공합니다. ASYST SMIF 300FL은 카세트-카세트 전송뿐만 아니라 in-feed, load port 및 load lock 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 핸들러에는 양면 진공 픽업 헤드와 내장 사전 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 사전 정렬자는 +/- 0.5um 이상의 반복 가능으로 정확하고 반복 가능한 로딩을 허용하는 반면, 양면 진공 픽업 헤드는 안전하고 안정적인 웨이퍼 처리를 지원합니다. "카세트 '의 융통성 있는" 카세트' 장치 는 크기 가 다른 "카세트 '를 수용 할 수 있으며 25mm 내지 300mm 의 여러 가지" 웨이퍼' 크기 에 맞게 구성 할 수 있으며, 그것 은 광범위 한 반도체 생산 필요 를 허용 한다. SMIF 300 FL은 강력한 브러쉬가없는 DC 모터에 의해 구동되며, 웨이퍼 투 웨이퍼 및 카세트에서 카세트로 빠른 전송 시간을 제공합니다. 이 장치에는 여러 웨이퍼 로트 번호 및 크기를 인식하고 처리 할 수있는 극저온 웨이퍼 ID 리더 (Cryogenic Wafer ID Reader) 도 장착되어 있습니다. 이 핸들러는 또한 안정성을 높이고 인력과 장비에 대한 더 큰 보호 기능을 제공하는 몇 가지 안전 관련 (Safety-Related) 기능을 제공합니다. 전기적 충격의 위험을 최소화하고, 영구히 접지된 상태로 유지되도록 설계되었으며, 업계 최고의 표준을 충족하는 ESD (내장) 보호 기능이 내장되어 있습니다. 또한 SMIF-300FL 은 DC 전원 모터 보호 및 전원 장애 복구 기능을 제공하여 많은 비용이 소요되는 다운타임을 방지합니다. 결론적으로 ASYST SMIF 300 FL은 대용량 반도체 생산에서 자동 웨이퍼 처리를위한 이상적인 웨이퍼 핸들러입니다. 뛰어난 와퍼 투 웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 반복성과 유연한 카세트 시스템 및 내장 안전 기능으로 안정적이고 효율적인 생산에 이상적인 선택입니다.