판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #9178156

ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 핸들러는 집적 회로 (IC) 백엔드 프로세스를 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 처리 장비입니다. 통합 스캐너와 POD (Portable Open Device) 스토리지 시스템이 장착 된 Gantry 기반 로봇으로 구성되어 있습니다. ASYST SMIF 300FL은 2 "~ 8-13/16" 의 웨이퍼를 처리하도록 정확하게 설계되었으며 빠르고 정확하게 교환 할 수 있습니다. 고급 디자인에는 웨이퍼 위치 정확도를 향상시키는 추가 부품이 포함됩니다. 그 "로봇 '은 개선 된 취급 장치 를 갖춘 진공 들기 장치 를 갖추고 있어서, 연약 한 섬세 한" 웨이퍼' 를 처리 하면서 접촉 을 제거 한다. SMIF 300 FL은 유연한 운영 프로세스를 위해 설계되어 백엔드 (Backend), 프로브 (Probe) 및 번인 (Burn-in) 프로세스에 통합됩니다. 고급 기능의 잠재력을 극대화하기 위해 ASYST SMIF 300 FL에는 최고 108 개의 웨이퍼를 관리할 수있는 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 도 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 (wafer) 의 저장 및 운송에 대한 프로파일 정보를 관리하고, 로봇 암의 작동에 대한 지침을 생성합니다. 또한 최종 사용자 회계 데이터 (예: 광 검사 결과) 와 프로세스 결과 (각 웨이퍼에 대한 작업) 를 포괄적으로 통합합니다. 또한 SMIF-300FL (Automatic Cleaning Machine) 은 로봇의 웨이퍼 홀더를 유지하고 입자를 깨끗하게 처리하는 자동 클리닝 머신을 갖추고 있습니다. 이 내장 에셋은 가압 여과수 (pressurized filtered water) 와 질소 (nitrogen) 를 갖춘 내장 워터 제트를 사용하여 로봇 표면에서 수집하는 입자를 제거하여 로봇이 매우 정확한 웨이퍼 교환을 위해 최상위 상태인지 확인합니다. SMIF 300FL은 운영자의 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 우발적 충돌을 제거하기위한 이중 연동, 최대 이동 속도를 제한 할 수있는 기계적 구조, 입자 오염으로부터 보호되는 2 차 안전 영역 (Quadratic Safety Area) 이 포함되며, 로봇의 안전하고 안전한 작동이 가능합니다. ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 처리기 (wafer handler) 는 다양한 IC 백엔드 프로세스와 호환되는 고정밀도 웨이퍼 처리 솔루션을 찾는 사용자에게 이상적입니다. 이 제품은 비용과 성능에 대한 최적의 구성을 제공하도록 설계되었으며, 현재 워퍼 (wafer) 처리 (handling) 의 증가하는 정밀 요구를 충족할 수 있도록 보장됩니다.