판매용 중고 ASYST SMIF-300FL #9023346

ASYST SMIF-300FL 웨이퍼 핸들러 (ASYST SMIF-300FL wafer handler) 는 반도체 제조 과정에서 웨이퍼의 대용량 로드 및 언로드를 관리하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 시스템입니다. ASYST SMIF 300FL에는 빠른 웨이퍼 교환, 통합 웨이퍼 스크럽 기능 및 웨이퍼 방향 결정을 위한 고급 현장 스캔을위한 빠른 변경 픽업 모듈이 있습니다. SMIF 300 FL은 300mm, 200mm 또는 150mm 구성에서 구성된 웨이퍼를 처리 및 슬래빙할 수 있습니다. 최대 1mm 두께, 직경 40mm (초당 300mm) 의 웨이퍼를 효율적으로 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 ASYST SMIF 300 FL에는 자동 웨이퍼 방향 결정 및 손상된 웨이퍼 탐지가 있습니다. SMIF-300FL은 모듈식 설계를 통해 유연하게 구성할 수 있습니다. 용광로, 스캐너, 도량형 도구와 같은 기존 장비와 쌍을 이룰 수 있습니다. 또한, 시스템의 모듈식 접근 방식을 통해 추가 웨이퍼 카세트, FOUP, 로봇 통합과 같은 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. SMIF 300FL 웨이퍼 핸들러는 다양한 웨이퍼 제조 공정에 사용됩니다. 예를 들어, 처리되지 않은 웨이퍼 스크러빙, 이미징 및 클리닝뿐만 아니라 Sorting, epi-etching 및 pre-metal 증착 프로세스를 수용 할 수 있습니다. ASYST SMIF-300FL은 또한 안전을 염두에 두고 설계되었으며, 다양한 내장 안전 보호 기능을 갖추고 있습니다. ASYST SMIF 300FL (ASYST SMIF 300FL) 은 복잡한 웨이퍼 구성을 처리 및 전송하는 데 어려움과 안전 위험을 감수하는, 고급적이고 안정적인 웨이퍼 처리 시스템입니다. 이 제품은 고출력 운영 환경에 이상적인 선택이며, 탁월한 수준의 안전성과 효율성을 제공합니다.